ディスク原盤作成装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-087600
公開番号（公開出願番号）：特開平11-288531
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：

【要約】【課題】電子ビームによりディスク原盤に高精度かつ高密度のピットパターン等をカッティングする。【解決手段】電子ビームによるディスク原盤1に対するピットパターンの形成状態を検出する検出部16を備え、この検出部16によって検出された検出値と基準値とを制御部15において比較する。制御部15は、検出値と基準値との差異量に基づく制御信号を電子ビーム出射手段14に供給してそのビーム偏向電極39を駆動する。電子ビームは、差異量を補正する方向に偏向動作される。

請求項（抜粋）：

回転制御された状態でディスク原盤を回転駆動する原盤回転駆動機構と、電子ビームを出射する電子銃と、上記電子ビームの偏向制御を行う偏向制御電極と、上記電子ビームを集束して上記ディスク原盤の主面に照射させるフォーカス部とを備えた電子ビーム出射手段と、上記原盤回転駆動機構と上記電子ビーム出射手段とを上記ディスク原盤の半径方向に対して相対的に移動させる原盤移動駆動機構と、上記電子ビームによる上記ディスク原盤のカッティング状態を検出する検出部と、上記検出部によって検出された検出値と基準値とを比較し、これら検出値と基準値との差異量に応じた補正制御信号を上記電子ビーム出射手段に送出する制御部とを備え、上記電子ビーム出射手段は、上記制御部から送出された上記補正制御信号に基づいて上記偏向制御電極が駆動されることにより上記ディスク原盤に照射される上記電子ビームの偏向動作を行って情報信号等に応じたパターン潜像を形成することを特徴としたディスク原盤作成装置。

引用特許：

審査官引用 (7件)

情報記録装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-276068 出願人：パイオニア株式会社
特開平2-214046
特開平4-030334

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