特許
J-GLOBAL ID：200903016069719898
レーザ加工装置及びレーザ加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
高橋 敬四郎
, 来山 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-016157
公開番号（公開出願番号）：特開2005-205469
出願日： 2004年01月23日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：
【課題】内径が深さ方向に3段階以上変化する凹部を形成することが容易なレーザ加工装置を提供する。【解決手段】レーザ加工装置は、レーザビームを出射するレーザ光源1と、レーザ光源1から出射したレーザビームを、第1のレーザビームと第2のレーザビームとに分岐させ、第1及び第2のレーザビームの強度比を変化させることができる分岐器2と、分岐器2から出射した第1及び第2のレーザビームが入射し、第1及び第2のレーザビームを、同一の光軸に沿って進行するように合成する合成器6と、第1のレーザビームの、分岐器2から合成器6までの光路上に配置され、第1のレーザビームの断面の大きさ及び形状及びビーム断面内の強度分布のうち少なくとも1つを変化させる光学装置5a、5bと、分岐器2を制御し、第1及び第2のレーザビームの強度比を、少なくとも3段階または連続的に変化させる制御装置3とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レーザビームを出射するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出射したレーザビームを、第1のレーザビームと第2のレーザビームとに分岐させ、該第1及び第2のレーザビームの強度比を変化させることができる分岐器と、
前記分岐器から出射した第1及び第2のレーザビームが入射し、該第1及び第2のレーザビームを、同一の光軸に沿って進行するように合成する合成器と、
前記第1のレーザビームの、前記分岐器から前記合成器までの光路上に配置され、該第1のレーザビームの断面の大きさ及び形状及びビーム断面内の強度分布のうち少なくとも1つを変化させる光学装置と、
前記分岐器を制御し、前記第1及び第2のレーザビームの強度比を、少なくとも3段階または連続的に変化させる制御装置と
を有するレーザ加工装置。
IPC (4件)：
B23K26/06
, B23K26/00
, G02B27/09
, G02B27/10
B23K26/06 C
, B23K26/06 A
, B23K26/00 330
, G02B27/10
, G02B27/00 E
4E068AA05
, 4E068AF01
, 4E068CA02
, 4E068CA07
, 4E068CA17
, 4E068CB08
, 4E068CD02
, 4E068CD03
, 4E068CD05
, 4E068CD08
, 4E068CD14
, 4E068DA11
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
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