特許

J-GLOBAL ID：200903016114275114

感光性化合物、添加用化合物、これらを含有するポジ型感光性組成物、及びこのポジ型感光性組成物の膜を有する表示素子

発明者： 柴田 晃一
出願人/特許権者： チッソ株式会社
代理人 (3件)： 川口 嘉之 ,  松倉 秀実 ,  遠山 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-331640
公開番号（公開出願番号）：特開2007-137800
出願日： 2005年11月16日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：

【課題】 感光性樹脂組成物の感光剤成分として有用である新規なシルセスキオキサン骨格を有するキノンジアジドスルホン酸エステル誘導体を提供し、またその前駆体のフェノール誘導体を該組成物における添加物として提供する。【解決手段】 4〜12個のケイ素と、それぞれのケイ素に結合している酸素及び一価のRとによって構成される基本構造を含み、端部に前記酸素を有していてもよく、端部の前記酸素にはRが結合していてもよいし、また端部の二つの前記酸素に、二つのRが結合している一つのケイ素が結合していてもよいシルセスキオキサン誘導体のRの少なくとも一つに、特定のキノンジアジドスルホン酸系の基か又は水酸基を含有する特定の基を導入して、ポジ型感光性組成物における感光性化合物又は添加用化合物とする。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

4〜12個のケイ素と、それぞれのケイ素に結合している酸素及び一価のRとによって構成される基本構造を含むシルセスキオキサン誘導体からなる化合物であって、 基本構造は、一つのケイ素に三つの酸素と一つのRとが結合し、二つのケイ素の間には一つの酸素が介在する構造であり、 シルセスキオキサン誘導体は、端部に酸素を有していてもよく、端部の酸素にはRが結合していてもよいし、また端部の二つの酸素に、二つのRが結合している一つのケイ素が結合していてもよい化合物において、 Rは、独立して、水素、アルキル、アリール、アラルキル、下記式(1)で示される基、又は下記式(2)で示される基であり、 アルキルにおける炭素数は1〜30であり、アリールにおける炭素数は6〜30であり、アラルキルにおけるアルキレンの炭素数は1〜12であり、アルキル及びアラルキルのアルキレンのそれぞれにおいて、任意の水素はハロゲンで置き換えられてもよく、任意の-CH2-は-O-、-S-、-CO-、-NH-、-SiRa2-(Raは独立して炭素数1〜8のアルキル、フェニル、シクロペンチル又はシクロヘキシルである。)、-CH=CH-、-C≡C-、-CF=CF-、シクロアルキレン又はシクロアルケニレンで置き換えられてもよく、アリール及びアラルキルのそれぞれにおいて、環の任意の水素は、ハロゲン、シアノ、炭素数1〜12のアルキル、炭素数1〜12のアルコキシ又は炭素数2〜12のアルケニルで置き換えられてもよく、 Rの少なくとも一つは式(1)で示される基であることを特徴とする化合物。

IPC (5件)：

C07F 7/21 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C08G 77/392

FI (5件)：

C07F7/21 ,  G03F7/022 601 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08G77/392

Fターム (68件)：

2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  4H049VN01 ,  4H049VP08 ,  4H049VQ02 ,  4H049VQ07 ,  4H049VQ08 ,  4H049VQ24 ,  4H049VQ40 ,  4H049VQ43 ,  4H049VQ46 ,  4H049VQ53 ,  4H049VQ54 ,  4H049VQ88 ,  4H049VR21 ,  4H049VR22 ,  4H049VR42 ,  4H049VR43 ,  4H049VU24 ,  4H049VU29 ,  4J246AA03 ,  4J246AB07 ,  4J246BA12X ,  4J246BA120 ,  4J246BB02X ,  4J246BB020 ,  4J246BB022 ,  4J246CA01U ,  4J246CA010 ,  4J246CA05U ,  4J246CA050 ,  4J246CA14U ,  4J246CA140 ,  4J246CA55M ,  4J246CA55U ,  4J246CA55X ,  4J246CA550 ,  4J246CA56M ,  4J246CA560 ,  4J246CA57M ,  4J246CA57X ,  4J246CA570 ,  4J246CA72M ,  4J246CA72X ,  4J246CA720 ,  4J246CA760 ,  4J246CA780 ,  4J246CA840 ,  4J246CA85M ,  4J246CA85X ,  4J246CA850 ,  4J246FA081 ,  4J246FA131 ,  4J246FA151 ,  4J246FA222 ,  4J246FA421 ,  4J246FA422 ,  4J246FA432 ,  4J246FA441 ,  4J246FA452 ,  4J246FB211 ,  4J246FC061 ,  4J246FC162 ,  4J246HA15

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ペンタフェノール系化合物、その製法及び用途
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-026079   出願人：住友化学工業株式会社

審査官引用 (3件)

• シルセスキオキサン骨格を有する重合体および化合物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-053219   出願人：チッソ石油化学株式会社
• 珪素含有高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-148656   出願人：信越化学工業株式会社
• 特開平3-039748