特許
J-GLOBAL ID:200903016165251147
放射線検出装置及びその駆動方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山下 穣平 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-060062
公開番号(公開出願番号):特開2003-333427
出願日: 2003年03月06日
公開日(公表日): 2003年11月21日
要約:
【要約】【課題】 動画の撮像に適した放射線検出装置を提供する。【解決手段】 放射線検出装置は、放射線を光に変換する蛍光体114と、蛍光体114で変換された光を電気信号に変換する光電変換部108と、光電変換部108で変換された電気信号を転送するための薄膜トランジスタ(TFT1)部107と、薄膜トランジスタ(TFT1)部107で転送された電気信号を蓄積する容量116と、容量116に蓄積された電気信号を読み出す薄膜トランジスタ(TFT2)部117とを有する画素とを備えている。光電変換部108と、薄膜トランジスタ(TFT1)部107と、容量116と、薄膜トランジスタ(TFT2)部117とは同一層構成で形成されており、それぞれ、少なくとも下部電極102’又はゲート電極102”とゲート絶縁膜103と半導体層104とを備え、蛍光体114との間に保護層112が形成されている。
請求項(抜粋):
放射線を電気信号に変換する変換素子を有する放射線検出装置であって、前記変換素子で変換された電気信号を転送するための第1の薄膜トランジスタと、該第1の薄膜トランジスタで転送された電気信号を蓄積する容量と、該容量に蓄積された電気信号を読み出す第2の薄膜トランジスタとを有する画素を複数備え、前記変換素子は、前記放射線から波長変換された可視光を検出可能な光電変換素子からなることを特徴とする放射線検出装置。
IPC (7件):
H04N 5/32
, G01T 1/20
, H01L 27/14
, H01L 27/146
, H01L 31/0248
, H01L 31/09
, H04N 5/335
FI (10件):
H04N 5/32
, G01T 1/20 E
, G01T 1/20 F
, G01T 1/20 G
, H04N 5/335 E
, H01L 27/14 K
, H01L 27/14 C
, H01L 27/14 D
, H01L 31/00 A
, H01L 31/08 H
Fターム (48件):
2G088EE01
, 2G088FF02
, 2G088FF04
, 2G088GG19
, 2G088GG20
, 2G088JJ05
, 2G088JJ33
, 2G088KK32
, 2G088KK40
, 2G088LL12
, 2G088LL18
, 4M118AA06
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA05
, 4M118CA14
, 4M118CA32
, 4M118CB06
, 4M118CB11
, 4M118CB14
, 4M118DD12
, 4M118FB09
, 4M118FB13
, 4M118FB16
, 4M118GA10
, 5C024AX12
, 5C024CX17
, 5C024GX07
, 5C024GY31
, 5F088AB05
, 5F088BA02
, 5F088BB03
, 5F088BB07
, 5F088CA01
, 5F088CB14
, 5F088EA04
, 5F088EA11
, 5F088EA13
, 5F088EA16
, 5F088FA05
, 5F088GA02
, 5F088HA13
, 5F088HA15
, 5F088JA17
, 5F088KA02
, 5F088KA03
, 5F088KA08
, 5F088LA07
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
-
放射線撮像装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-221410
出願人:キヤノン株式会社
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イメージセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-007564
出願人:日産自動車株式会社
-
電磁波検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-076393
出願人:キヤノン株式会社
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