特許

J-GLOBAL ID：200903016241412562

研磨パッド

発明者： 駒井 茂 ,  下村 哲生 ,  中森 雅彦 ,  瀬柳 博 ,  小川 一幸
出願人/特許権者： 東洋紡績株式会社 ,  東洋ゴム工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-393215
公開番号（公開出願番号）：特開2002-192455
出願日： 2000年12月25日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：

【要約】【課題】 研磨レ-トを安定させ、かつ均一性、平坦性をも維持できる研磨パッドを提供すること。【解決手段】 研磨剤を保持するための表面加工が施された研磨パッドであって、前記研磨パッドの厚みのバラツキが100μm以下であることを特徴とする研磨パッド。

請求項（抜粋）：

研磨剤を保持するための表面加工が施された研磨パッドであって、前記研磨パッドの厚みのバラツキが100μm以下であることを特徴とする研磨パッド。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (5件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CA01 ,  3C058CB01 ,  3C058DA12

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-250766
  
• 研磨パッドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-070042   出願人：東レ株式会社
• 溝付研磨パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-159839   出願人：旭化成工業株式会社
• 研磨パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-277836   出願人：日本電気株式会社