特許

J-GLOBAL ID：200903016298384549

ペリクル貼付部分を有するマスク及びその固定方法

発明者： 舟津 博幸
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 清水 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-089057
公開番号（公開出願番号）：特開2001-281837
出願日： 2000年03月28日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：

【要約】【課題】 マスク基板上からのペリクルの剥がれを適切になし得るペリクル貼付部分を有するマスク及びその固定方法を提供する。【解決手段】 ペリクルフレーム1は、マスク基板5上の金属部3とガラス部4が交互に並べられている領域部分に、ペリクル粘着材2により固定されている。ペリクルフレーム1は、貼り付け圧力6によりマスク基板5上に接着される。ペリクル粘着材2とマスク基板5の表面上の金属部3との接着力は、マスク基板5上のガラス部4との接着力より大きい。このことから、金属部3とガラス部4の各々の幅(W金属、Wガラス)を最適化することにより、接着力のコントロールが可能となる。

請求項（抜粋）：

マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域にガラス部と金属部を配置し、前記マスク基板上からペリクルの剥がれを適切になし得るように前記領域の前記ガラス部の面積と前記金属部の面積とを配分してなることを特徴とするペリクル貼付部分を有するマスク。

IPC (2件)：

G03F 1/08 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 1/08 J ,  H01L 21/30 502 P

Fターム (2件)：

2H095BC21 ,  2H095BC39

引用特許：

審査官引用 (3件)

• フォトマスク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-236652   出願人：富士通株式会社
• 露光用マスク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-226949   出願人：富士通株式会社
• ペリクル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-105255   出願人：東ソー株式会社