特許

J-GLOBAL ID：200903016310661758

カセット内基板検出装置

発明者： 岡 義二 ,  福冨 義光 ,  板羽 昌行 ,  小山 康文
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 五十嵐 孝雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-328376
公開番号（公開出願番号）：特開平9-148403
出願日： 1995年11月22日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】 カセットに収納されている各基板の垂直方向の位置範囲を検出する。【解決手段】 基板検出装置は、カセットを挟んで対向して配置された投光素子と受光素子とを備える光センサと、光センサとカセットの少なくとも一方を相対的に垂直方向に移動させる垂直駆動手段を備えている。さらに、光センサとカセットが相対的に垂直移動する際に光センサが発生する出力波形から、カセット内に存在する基板のそれぞれの垂直方向の位置範囲を検出する基板位置検出手段を備えている。

請求項（抜粋）：

カセット内に収納された基板を検出する装置であって、前記カセットを挟んで対向して配置された投光素子と受光素子とを備える光センサと、前記光センサと前記カセットの少なくとも一方を相対的に垂直方向に移動させる垂直駆動手段と、前記光センサと前記カセットが相対的に垂直移動する際に前記光センサが発生する出力波形から、前記カセット内に存在する基板のそれぞれの垂直方向の位置範囲を検出する基板位置検出手段と、を備えるカセット内基板検出装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 1/00 535 ,  G01B 11/00

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 F ,  B65G 1/00 535 ,  G01B 11/00 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ウエハ搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-208931   出願人：キヤノン株式会社
• 板状体の搬送方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-287007   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平4-345049
  
• 特開平4-345049