特許
J-GLOBAL ID：200903016312180595

熱板の製造方法

発明者：
左田 信幸

左田 信幸 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 金本 哲男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-202372
公開番号（公開出願番号）：特開2002-025755
出願日： 2000年07月04日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：
【要約】【課題】 熱板温度に不均一が生じないようにヒータを配置する熱板の製造方法を提供する。【解決手段】 ウェハWを載置して加熱する熱板2を,中心部のエリア2aとその周辺部の円弧状のエリア2b,2c,2d,2eに区画し,そのエリア2a〜2e毎にヒータ3a〜3eを所定のパターンで印刷する。前記ヒータ3b〜3eは,いわゆる一筆書き状の開曲線状に形成されており,その両端には,電極となる接続端子7〜14が接続されている。これらの接続端子7〜14は,放熱し易い接続端子が近接することを避けるため所定距離離隔されて設けられる。そして,各エリア2a〜2e内の当該離隔により生じたヒータ3の密度が疎になった領域,例えばエリア2bでは領域Pに他の領域Qのヒータ3をはみ出させて配置し,熱板2面内の単位面積あたりの発熱量を均一にする。
請求項（抜粋）：
両端に電力供給部に接続される接続端子を有し,かつ枝状に分岐しない開曲線状の発熱体を有する熱板の製造方法であって,前記熱板の所定の領域に前記発熱体を配置するにあたり,前記所定領域の一側寄りの区域内に,前記2つの接続端子を位置させると共に,前記2つの接続端子を所定距離以上に離隔させ,当該離隔によって,前記所定領域の他側寄りの区域と比較して熱板に存在する発熱体が相対的に疎になる前記一側寄りの区域内に,前記熱板面内における単位面積あたりの発熱量が等しくなるように,前記他側寄りの区域に配置される発熱体の一部をはみ出させて配置することを特徴とする,熱板の製造方法。
IPC (5件)：
H05B 3/68 ,  H01L 21/027 ,  H05B 3/02 ,  H05B 3/10 ,  H05B 3/20 328
FI (5件)：
H05B 3/68 ,  H05B 3/02 B ,  H05B 3/10 A ,  H05B 3/20 328 ,  H01L 21/30 567
Fターム (18件)：
3K034AA22 ,  3K034AA34 ,  3K034BB06 ,  3K034BC12 ,  3K034FA14 ,  3K034JA01 ,  3K034JA02 ,  3K092PP20 ,  3K092QA10 ,  3K092QB30 ,  3K092QB45 ,  3K092RF11 ,  3K092RF19 ,  3K092RF22 ,  3K092SS11 ,  3K092VV22 ,  5F046KA04 ,  5F046KA10
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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