特許

J-GLOBAL ID：200903016393618930

サンドブラスト装置

発明者： 旭 晃一 ,  天沼 武男
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 土井 育郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-327046
公開番号（公開出願番号）：特開平10-166273
出願日： 1996年12月06日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：

【要約】【課題】 被加工物が大面積になり且つ加工精度が高くなっても、サンドブラスト加工時における加工ムラを軽減する。【解決手段】 被加工物である基板10を搬送する基板搬送手段と、研磨材を噴射するための噴射ノズル13を有する研磨材噴射部とを備えてなるサンドブラスト装置において、研磨材噴射部の駆動手段にボールネジを用いる。駆動時の振動が殆どなくなるので、加工ムラをなくして加工品質を向上できる。

請求項（抜粋）：

被加工物である基板を搬送する基板搬送手段と、研磨材を噴射するための噴射ノズルを有する研磨材噴射部とを備えてなるサンドブラスト装置において、研磨材噴射部の駆動手段にボールネジを用いたことを特徴とするサンドブラスト装置。

IPC (2件)：

B24C 5/02 ,  B24C 3/32

FI (2件)：

B24C 5/02 C ,  B24C 3/32 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• サンドブラスト装置及び気体放電型表示装置の隔壁形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-094852   出願人：松下電子工業株式会社
• バリ取り方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-224964   出願人：株式会社アマダ
• ウォータージェット加工装置及びそれを用いた加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-098251   出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立コンピュータエレクトロニクス
• 特開平4-343669