特許
J-GLOBAL ID:200903066971448349
サンドブラスト装置及び気体放電型表示装置の隔壁形成方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-094852
公開番号(公開出願番号):特開平8-290361
出願日: 1995年04月20日
公開日(公表日): 1996年11月05日
要約:
【要約】【目的】 超微細な開口部を備える放電セルを構成できる隔壁を高い寸法精度で得る。【構成】 複数の噴射ガン16a,16b,16cおよび16dにより、背面板3上に塗布されたリブペースト12のマスクパターン14が設けられていない部分をそれぞれの噴射ガンの噴射圧力、噴射距離、各噴射ガンのノズル口径または研磨砂の粒径を調整しながら切削除去して隔壁を形成する。
請求項(抜粋):
マスクパターン等を介して選択的に必要とする部分以外の背面板等の基板上の表面物質を高圧空気により研磨砂を吹き付けて除去するサンドブラスト装置において、複数の噴射ガンを備えることを特徴とするサンドブラスト装置。
IPC (3件):
B24C 1/04
, B24C 3/32
, H01J 9/02
FI (3件):
B24C 1/04 C
, B24C 3/32 D
, H01J 9/02
引用特許:
前のページに戻る