特許
J-GLOBAL ID：200903016395379460
ウエハの平坦化方法及び平坦化装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-065764
公開番号（公開出願番号）：特開平11-265877
出願日： 1998年03月16日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：
【要約】【課題】 ウエハ表面のうねり等による凹凸を大きなダメージを与えることなく効果的に取り除いてウエハ表面を平坦化する。【解決手段】 ウエハ1表面に存在する大きさ又は/及び高さの異なる凸部2a、2bに対して、ガス噴出用ノズル16よりエッチングガスを噴出して凸部をドライエッチングすることによりウエハ表面を平坦化する方法であり、凸部2a、2bの大きさ又は/及び高さに応じて、エッチングガスのガス噴出状態を異ならせる。
請求項（抜粋）：
ウエハ表面に存在する大きさ又は/及び高さの異なる凸部に対してガス噴出用ノズルよりエッチングガスを噴出し、該凸部をドライエッチングすることによりウエハ表面を平坦化するウエハの平坦化方法であって、前記凸部の大きさ又は/及び高さに応じて、前記エッチングガスのガス噴出状態を異ならしめることを特徴とするウエハの平坦化方法。
引用特許：
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