特許
J-GLOBAL ID：200903016469711110
テラヘルツ波測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
長谷川 芳樹
, 寺崎 史朗
, 石田 悟
, 柴田 昌聰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-063890
公開番号（公開出願番号）：特開2008-224451
出願日： 2007年03月13日
公開日（公表日）： 2008年09月25日
要約：
【課題】透過測定法と全反射測定法との間の切り替えが容易であって安定した測定条件で測定を行うことができるテラヘルツ波測定装置を提供する。【解決手段】テラヘルツ波測定装置1は、透過測定法と全反射測定法との間の切り替えが可能でテラヘルツ波を用いて測定対象物の情報を取得するものであって、光源11、分岐部12、チョッパ13、光路長差調整部14、偏光子15、合波部16、テラヘルツ波発生素子20、第1プリズム310、第2プリズム320およびテラヘルツ波検出素子40等を備える。第1プリズム310は、入射面310a,出射面310b,反射面310c,凹部を形成する第1副反射面310dおよび第2副反射面310eを有する。第2プリズム320は、第1プリズム310の凹部に嵌合し得る形状を有する凸部を形成する入射面320aおよび出射面320b、内部空間320cを有する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
光を出力する光源と、
前記光源から出力された光を2分岐して、その2分岐した光のうち一方をポンプ光とし他方をプローブ光として出力する分岐部と、
前記分岐部から出力されたポンプ光を入力することでテラヘルツ波を発生し出力するテラヘルツ波発生素子と、
前記テラヘルツ波発生素子から出力されるテラヘルツ波を入力する入射面と、前記テラヘルツ波を全反射させる反射面と、前記テラヘルツ波を外部へ出力する出射面と、凹部を形成する第1副反射面および第2副反射面と、を有する第1プリズムと、
前記第1プリズムの前記凹部に嵌合し得る形状を有する凸部を含み、前記第1プリズムに対して着脱自在であり、内部空間を有する第2プリズムと、
前記第1プリズムの前記出射面から出力されたテラヘルツ波と、前記分岐部から出力されたプローブ光とを入力し、これらテラヘルツ波とプローブ光との間の相関を検出するテラヘルツ波検出素子と、
を備え、
前記第1プリズムの前記凹部に前記第2プリズムの前記凸部が嵌合していないときに、前記第1プリズムの前記入射面に入力したテラヘルツ波を、前記第1プリズムの前記第1副反射面,前記反射面および前記第2副反射面の順に反射させ、前記第1プリズムの前記出射面から外部へ出力することで、前記第1プリズムの前記反射面に配置された測定対象物についての情報を、テラヘルツ波の全反射の際に生じる該テラヘルツ波のエバネセント成分により取得し、
前記第1プリズムの前記凹部に前記第2プリズムの前記凸部が嵌合しているときに、前記第1プリズムの前記入射面に入力したテラヘルツ波を、前記第1プリズムの前記第1副反射面,前記第2プリズムの前記内部空間および前記第1プリズムの前記第2副反射面の順に透過させ、前記第1プリズムの前記出射面から外部へ出力することで、前記第2プリズムの前記内部空間に配置された測定対象物についての情報を、前記内部空間を透過するテラヘルツ波により取得する、
ことを特徴とするテラヘルツ波測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/35 Z
, G01N21/27 C
2G059AA02
, 2G059DD13
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE05
, 2G059GG01
, 2G059GG08
, 2G059HH01
, 2G059HH06
, 2G059JJ12
, 2G059JJ13
, 2G059JJ18
, 2G059JJ19
, 2G059JJ20
, 2G059JJ22
, 2G059JJ24
, 2G059KK03
, 2G059KK09
