特許
J-GLOBAL ID：200903026748618486

反射型テラヘルツ分光測定装置及び測定方法

発明者：
大竹 秀幸

大竹 秀幸 について

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吉田 睦

吉田 睦 について

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田中 耕一郎

田中 耕一郎 について

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永井 正也

永井 正也 について


出願人/特許権者：
アイシン精機株式会社

アイシン精機株式会社 について

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田中 耕一郎

田中 耕一郎 について


代理人 (1件)： 大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-153160
公開番号（公開出願番号）：特開2004-354246
出願日： 2003年05月29日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：
【課題】被測定物と同じ位置に金属鏡を置く必要がなく、被測定物が固体に限定されない反射型テラヘルツ分光測定装置を提供する。【解決手段】テラヘルツ波が伝搬する入射側光路1と、テラヘルツ波を被測定物に照射する手段2と、出射側光路3と、検出部4とを有し、照射手段は平面状界面を持つと共に、界面に接する周辺領域の屈折率より大きな屈折率を持ち、テラヘルツ波が平面状界面で全反射するように配置する。平面状界面に被測定物を配置し、テラヘルツ波が全反射する際に放射されるエバネッセント波を被測定物に照射して、分光スペクトルを測定する。平面状界面に被測定物がないときの出射されるテラヘルツ波を参照用とするので、被測定物と同じ位置に金属鏡を置く必要がない。また、照射手段の平面状界面からしみ出したエバネッセント波が被測定物と相互作用を起こすことを用いているので、被測定物は固体に限定されることがない。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
テラヘルツ波が伝搬する入射側光路と、 該入射側光路を伝搬した該テラヘルツ波を被測定物に照射する照射手段と、 該照射手段から出射されるテラヘルツ波が伝搬する出射側光路と、 該出射側光路を伝搬した該テラヘルツ波を受光検出する検出部と、 を有し、 前記照射手段は、少なくとも平面状界面を一つ持つと共に、該平面状界面に接する周辺領域の屈折率より大きな屈折率を持ち、前記入射側光路を伝搬して入射される前記テラヘルツ波が該平面状界面で内部全反射するように前記入射側光路と前記出射側光路との間に配置されており、 前記照射手段の前記平面状界面に接する前記周辺領域に前記被測定物を配置し、前記平面状界面で前記テラヘルツ波が前記内部全反射する際該平面状界面から該平面状界面に接する該周辺領域に放射されるエバネッセント波を該被測定物に照射して、分光スペクトルを測定することを特徴とする反射型テラヘルツ分光測定装置。
IPC (4件)：
G01N21/35 ,  G01J3/42 ,  G01J3/447 ,  G01N21/27
FI (4件)：
G01N21/35 Z ,  G01J3/42 U ,  G01J3/447 ,  G01N21/27 C
Fターム (40件)：
2G020BA14 ,  2G020BA16 ,  2G020BA20 ,  2G020CA02 ,  2G020CA15 ,  2G020CB04 ,  2G020CB23 ,  2G020CB42 ,  2G020CC29 ,  2G020CC47 ,  2G020CD03 ,  2G020CD12 ,  2G020CD15 ,  2G020CD24 ,  2G020CD32 ,  2G020CD35 ,  2G020CD38 ,  2G059AA01 ,  2G059BB04 ,  2G059BB08 ,  2G059BB12 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059EE12 ,  2G059FF06 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK03 ,  2G059KK09 ,  2G059MM01 ,  2G059MM14
引用特許：
審査官引用 (5件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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