走査型露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：猪熊克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-324647
公開番号（公開出願番号）：特開平10-149981
出願日： 1996年11月19日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】露光画像の歪を低減することができる走査型露光装置の開口を提供する。【解決手段】レチクル1上のパターン1aの像のうちの開口4によって制限される露光領域内の像を投影光学系3によってウエハ2上に結像し、ウエハ2とレチクル1とを投影光学系3の倍率に応じた速度比にて同期して走査し、走査方向yに関する開口の幅c1を一様に形成することにより、レチクル1上のパターン1aをウエハ2上に転写する走査型露光装置において、開口4の走査方向と直交する長手方向xの形状を可変に形成したことを特徴とし、また、長手方向xの形状が異なる複数の開口4を切換自在に配置したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

レチクル上のパターンの像のうちの開口によって制限される露光領域内の像を投影光学系によってウエハ上に結像し、該ウエハと前記レチクルとを前記投影光学系の倍率に応じた速度比にて同期して走査し、該走査方向に関する前記開口の幅を一様に形成することにより、前記レチクル上のパターンを前記ウエハ上に転写する走査型露光装置において、前記開口の前記走査方向と直交する長手方向の形状を可変に形成したことを特徴とする走査型露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 518 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 516 A

引用特許：

審査官引用 (6件)

走査投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-093193 出願人：キヤノン株式会社
特開昭59-144127
投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-216569 出願人：株式会社ニコン

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