特許

J-GLOBAL ID：200903016516455682

搬送装置

発明者： 大石 明
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-342045
公開番号（公開出願番号）：特開2004-177202
出願日： 2002年11月26日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：

【課題】トレイとテストヘッドの構成を簡略化し、消耗部品を排除した搬送装置を実現する。【解決手段】検査対象デバイスをトレイに収納し、このトレイをソケットがある位置まで搬送し、検査対象デバイスをソケットと接続される位置に位置決めする搬送装置において、トレイとソケットにアライメントマークをそれぞれ付け、これらのアライメントマークの位置を撮像手段で画像認識することによって非接触でトレイとテストヘッド間の位置決めを行う。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

検査対象デバイスをトレイに収納し、このトレイをソケットがある位置まで搬送し、検査対象デバイスをソケットと接続される位置に位置決めする搬送装置において、 前記トレイに付けられた第1のアライメントマークと、 前記ソケットに付けられた第2のアライメントマークと、 前記第1のアライメントマークの位置を画像認識する第1の撮像手段と、 前記第1の撮像手段に対して既知の位置関係にあり、第2のアライメントマークの位置を画像認識する第2の撮像手段と、 前記第1及び第2の撮像手段でそれぞれ認識したアライメントマークの位置をもとに検査対象デバイスとソケットの位置関係を求め、求めた位置関係に基づいて検査対象デバイスをソケットに接続される位置に位置決めする位置決め手段と、 を備えたことを特徴とする搬送装置。

IPC (2件)：

G01R31/26 ,  H01L21/68

FI (4件)：

G01R31/26 Z ,  G01R31/26 J ,  H01L21/68 F ,  H01L21/68 U

Fターム (21件)：

2G003AG01 ,  2G003AG10 ,  2G003AG11 ,  2G003AG14 ,  2G003AG16 ,  2G003AH00 ,  5F031CA13 ,  5F031CA17 ,  5F031DA05 ,  5F031EA20 ,  5F031FA03 ,  5F031GA36 ,  5F031JA04 ,  5F031JA19 ,  5F031JA22 ,  5F031JA27 ,  5F031JA28 ,  5F031JA38 ,  5F031KA10 ,  5F031KA20 ,  5F031MA33

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-213777
  
• QFP型IC用ICソケットの位置検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-120567   出願人：安藤電気株式会社
• 電子部品の位置合せ方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-271494   出願人：株式会社日立製作所