特許

J-GLOBAL ID：200903016553848511

露光装置

発明者： 中谷 隆司 ,  西川 寛 ,  川浦 英明
出願人/特許権者： 日本電産シンポ株式会社 ,  ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-091908
公開番号（公開出願番号）：特開平11-288099
出願日： 1998年04月03日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：

【要約】【課題】 露光装置における露光マスクの交換を容易にし、且つ露光マスクの破損を防ぐ。【解決手段】 露光マスクを着脱可能に保持しうるマスク保持部材131と、マスク保持部材131をマスク交換位置と露光部の位置との間で往復移送するための移載機130とを有し、マスク交換位置で露光マスク5を移載機130上のマスク保持部材131に保持し、露光部の位置でマスク保持部材131ごと露光マスク5を露光部に受け渡す機構とされて成る。

請求項（抜粋）：

露光マスクを着脱可能に保持しうるマスク保持部材と、該マスク保持部材をマスク交換位置と露光部の位置との間で往復移送するための移載機とを有し、前記マスク交換位置で前記露光マスクを前記移載機上の前記マスク保持部材に保持し、前記露光部の位置で前記マスク保持部材ごと前記露光マスクを前記露光部に受け渡す機構とされて成ることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 511 ,  G02F 1/13 505 ,  H01J 9/227

FI (3件)：

G03F 7/20 511 ,  G02F 1/13 505 ,  H01J 9/227 E

引用特許：

出願人引用 (3件)

• マスク交換装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-225306   出願人：株式会社ニコン
• 特開平2-119114
  
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-053378   出願人：サンエー技研株式会社

審査官引用 (3件)

• マスク交換装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-225306   出願人：株式会社ニコン
• 特開平2-119114
  
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-053378   出願人：サンエー技研株式会社