特許

J-GLOBAL ID：200903016587158859

検出器

発明者： 野々村 裕 ,  藤吉 基弘 ,  大村 義輝 ,  藤塚 徳夫
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 藤谷 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-365724
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183179
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】安定した励振状態を得て角速度、加速度の検出精度を向上させること【解決手段】x、y軸方向に伸びた第1、第2励振ビーム21、22が交点部23で基板10に固定され励振可能である。ビームの先端にマス部31a〜32bが配設され、マス部31a〜32bの中央部には、各マス部に対向する検出電極61a〜62bが配設されている。各励振電極41a〜42bと各マス部との間に作用する静電力により、マス部31a、31bはy軸方向にマス部32a、32bはx軸方向に振動する。この振動状態で、x軸の回りに角速度ωx が作用すると、マス部31a、31bにはz軸方向にコリオリ力F1aとF1bとが作用し、y軸の回りに角速度ωy が作用すると、マス部32a、32bにはz軸方向にコリオリ力F2aとF2bとが作用し、z軸方向に振動し、この振動を検出電極で検出することで、各角速度が検出される。

請求項（抜粋）：

微細加工による慣性質量を有する複数のマス部を前記基板面に平行な異なる2方向に、マス部と対抗して配設された励振電極による電気力により励振させて、角速度、加速度、又は、角加速度の少なくとも1の物理量を検出する検出器において、前記基板面に平行に異なる前記2方向に延設され、中心の交点部が基板に固定され、他端において前記マス部を基板に対して振動可能に支持する励振ビームを設け、前記基板面に垂直な軸の回りの一方の回転の向きに変位の正の向きをとるとき、任意に隣接する2つのマス部における変位が逆位相となるように励振させることを特徴とする検出器。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-218914
  
• 角速度検出センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-014025   出願人：キンセキ株式会社
• 振動ジャイロおよび防振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-071442   出願人：キヤノン株式会社
• 運動センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-045220   出願人：日本航空電子工業株式会社