特許
J-GLOBAL ID：200903016661345267
カラーフィルターレジスト用現像液
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-167421
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015870
出願日： 1995年07月03日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：
【要約】【目的】 従来の高pHのアルカリ現像液の問題を解消する。【構成】 分子内にスルホン酸塩基を有するアニオン性界面活性剤と、アルキレンジオール及び/又はポリアルキレンジオールとを含有し、現像液の全重量に対するアルカリ剤の含有量が0.2重量%以下であるカラーフィルターレジスト用現像液。【効果】 分子内にスルホン酸塩基を有するアニオン性界面活性剤と、アルキレンジオール及び/又はポリアルキレンジオールとの組合せにより、現像液中のアルカリ剤の配合量を低減でき、高pHの現像液を用いることによる従来の問題が解消される。現像性、画像再現性に優れ、現像処理における経時安定性にも優れるため、高品質のカラーフィルターを低コストで容易に連続製造できる。低pHであるため、取扱時の人体に対する安全性、使用済現像液の廃液処理等の問題もない。
請求項（抜粋）：
分子内にスルホン酸塩基を有するアニオン性界面活性剤と、アルキレンジオール及び/又はポリアルキレンジオールとを含有し、現像液の全重量に対するアルカリ剤の含有量が0.2重量%以下であることを特徴とするカラーフィルターレジスト用現像液。
IPC (2件)：
G03F 7/32
, G02B 5/20 101
G03F 7/32
, G02B 5/20 101
