特許
J-GLOBAL ID：200903016705390117
膜厚モニタ装置及びこれを備える成膜装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-326439
公開番号（公開出願番号）：特開2009-149919
出願日： 2007年12月18日
公開日（公表日）： 2009年07月09日
要約：
【課題】 メンテナンス終了後に再度成膜工程を実施可能とするための時間を短縮することで成膜工程の効率を向上させることが可能な膜厚モニタ装置及びこれを備える成膜装置を提供する。【解決手段】 基板11上に成膜材料10が付着してなる薄膜の膜厚を測定するための膜厚モニタ装置5である。成膜材料10が付着し、成膜材料10の付着量によって共振周波数が変化する水晶振動子と、前記水晶振動子を囲むように形成され内部を熱媒が循環する熱媒循環路5bと、前記熱媒を循環させ、前記水晶振動子のメンテナンス時に前記水晶振動子に付着した成膜材料10を除去するべく前記熱媒の温度を調整する熱媒温度調整手段5cと、を備えてなる。蒸着装置(成膜装置)Aは、基板11上に成膜材料10を付着させて薄膜を形成するための真空室2を備え、真空室2に膜厚モニタ装置5を配設してなる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に成膜材料が付着してなる薄膜の膜厚を測定するための膜厚モニタ装置であって、
前記成膜材料が付着し、前記成膜材料の付着量によって共振周波数が変化する水晶振動子と、
前記水晶振動子を囲むように形成され内部を熱媒が循環する熱媒循環路と、
前記熱媒を循環させ、前記水晶振動子のメンテナンス時に前記水晶振動子に付着した前記成膜材料を除去するべく前記熱媒の温度を調整する熱媒温度調整手段と、
を備えてなることを特徴とする膜厚モニタ装置。
IPC (3件)：
C23C 14/54
, H05B 33/10
, H01L 51/50
C23C14/54 C
, C23C14/54 F
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC45
, 3K107GG32
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BB03
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029DB18
, 4K029EA01
