特許
J-GLOBAL ID：200903016714812539

結晶性ITO膜、ITO膜の結晶化方法、透明導電性フィルム、タッチパネル及び色素増感型太陽電池

発明者：
岩淵 芳典

岩淵 芳典 について

, 
吉川 雅人

吉川 雅人 について


出願人/特許権者：
株式会社ブリヂストン

株式会社ブリヂストン について


代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-375806
公開番号（公開出願番号）：特開2005-141981
出願日： 2003年11月05日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：
【課題】基材上のITO膜を選択的に加熱して短時間で摺動耐久性及び耐酸性に優れる結晶性ITO膜を得る。【解決手段】高分子フィルム等の基材上に形成されたITO膜にマイクロ波を照射することにより、ITO膜を選択的に加熱して結晶化させる。マイクロ波であれば、ITO膜と高分子フィルム等の基材との吸収の差を利用して、高分子フィルム等の基材上に形成されたITO膜のみを選択的に加熱して結晶化させることができる。このため、基材が耐熱性の低い高分子フィルムであっても短時間の加熱でITO膜の結晶化が可能となり、摺動耐久性及び耐酸性に優れた透明導電性フィルムを実現することができる。この結晶性ITO膜が高分子フィルム上に形成された透明導電性フィルム。この透明導電性フィルムを備えるタッチパネル及び色素増感型太陽電池。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基材上に形成された結晶性ITO膜であって、該結晶性ITO膜は、基材上に形成されたITO膜にマイクロ波が照射されることにより選択的に加熱されて結晶化されたものであることを特徴とする結晶性ITO膜。
IPC (4件)：
H01B5/14 ,  B32B9/00 ,  H01B13/00 ,  H01L31/04
FI (4件)：
H01B5/14 A ,  B32B9/00 A ,  H01B13/00 503B ,  H01L31/04 Z
Fターム (47件)：
4F100AA12C ,  4F100AA20C ,  4F100AA28B ,  4F100AA33B ,  4F100AK01A ,  4F100AK42 ,  4F100BA02 ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10B ,  4F100EH66B ,  4F100EJ42 ,  4F100EJ52 ,  4F100GB41 ,  4F100GB90 ,  4F100JA11B ,  4F100JB01 ,  4F100JG01 ,  4F100JK16 ,  4F100JL00 ,  4F100JM02B ,  4F100JN01 ,  4F100YY00B ,  5F051AA14 ,  5F051BA14 ,  5F051CB15 ,  5F051CB24 ,  5F051FA04 ,  5F051GA03 ,  5F051GA05 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC02 ,  5G323BA01 ,  5G323BB05 ,  5G323BC03 ,  5H032AA06 ,  5H032AS16 ,  5H032BB02 ,  5H032BB05 ,  5H032EE01 ,  5H032EE02 ,  5H032EE04 ,  5H032EE07 ,  5H032EE18 ,  5H032HH01
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (8件)
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