特許
J-GLOBAL ID：200903016720895420

レーザープローブ式形状測定器における傾斜面誤差の補正方法

発明者：
中村 勝重

中村 勝重 について

, 
三浦 勝弘

三浦 勝弘 について


出願人/特許権者：
三鷹光器株式会社

三鷹光器株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-202813
公開番号（公開出願番号）：特開2003-014431
出願日： 2001年07月03日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：
【要約】【課題】 測定点の傾きやレンズの固有差による影響を是正することができる。【解決手段】 基準体の表面を測定して得た高さ寸法データと、既知の寸法から演算して得た基準体表面の演算高さ寸法データとを比較して、測定点の傾きに基づいた誤差を是正する補正値を予め検出しておき、この補正値を、測定したワーク表面の高さ寸法データに加算しているため、傾きやレンズ固有差による誤差が生じない高精度なレーザープローブ式形状測定を実現することができる。
請求項（抜粋）：
測定対象であるワークの表面に対して、レーザープローブによるオートフォーカスをかけながらワークを相対的に移動させることにより、ワーク表面の高さ寸法を測定するワーク形状測定工程と、表面に傾いた部位があり且つ表面形状の寸法が既知である基準体の表面に対して、レーザープローブによるオートフォーカスをかけながら基準体を相対的に移動させることにより、基準体表面の高さ寸法を測定する基準体形状測定工程と、測定した基準体表面の高さ寸法データと、既知の寸法から演算して得た基準体表面の演算高さ寸法データとを比較して、各測定点における接線の傾きから、両者間の高さ寸法の偏差を補正値として検出する補正値検出工程と、測定したワーク表面の高さ寸法に、検出した補正値を加算して補正する補正演算工程と、を有することを特徴とするレーザープローブ式形状測定器における傾斜面誤差の補正方法。
IPC (2件)：
G01B 11/24 ,  G01B 11/02
FI (2件)：
G01B 11/02 Z ,  G01B 11/24 A
Fターム (17件)：
2F065AA24 ,  2F065AA54 ,  2F065BB05 ,  2F065CC22 ,  2F065EE00 ,  2F065FF10 ,  2F065GG06 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ16 ,  2F065LL05 ,  2F065LL12 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ25
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM