特許
J-GLOBAL ID：200903016722243748

分析装置

発明者：
寺下 衛作

寺下 衛作 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 塩野入 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-164636
公開番号（公開出願番号）：特開2004-012238
出願日： 2002年06月05日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】位置指定可能な範囲と現在位置や指定済みの試料位置との関係を表示し、また、試料観察画像をリアルタイムで表示する。【解決手段】試料観察機構(試料観察装置2)と分析位置移動機構(X線源3,検出器4、試料ステージ5)を備え、分析位置移動機構が位置指定可能とする範囲が、試料観察機構が一回の試料観察で観察する領域よりも広い分析装置であり、位置指定可能な範囲内において、所定位置、及びこの所定位置を領域内に含む試料観察領域を表示し、さらに、この試料観察領域内に試料観察領域の試料観察像をリアルタイムで表示する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料観察機構と分析位置移動機構を備え、分析位置移動機構が位置指定可能とする範囲が、試料観察機構が一回の試料観察で観察する領域よりも広い分析装置であって、 前記位置指定可能な範囲内に、所定位置、及び当該所定位置を領域内に含む試料観察領域を表示し、 前記試料観察領域内に当該試料観察領域の試料観察像をリアルタイムで表示することを特徴とする、分析装置。
IPC (1件)：
G01N23/223
FI (1件)：
G01N23/223
Fターム (10件)：
2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA09 ,  2G001HA13 ,  2G001PA11 ,  2G001PA14 ,  2G001SA07
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 荷電粒子線装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-068109   出願人：株式会社日立製作所
  • 電子顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-260877   出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ

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