特許

J-GLOBAL ID：200903016800393867

微細構造体及びその製造方法、センサデバイス及びラマン分光用デバイス

発明者： 都丸 雄一
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (2件)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-198009
公開番号（公開出願番号）：特開2008-026109
出願日： 2006年07月20日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：

【課題】表面に凹凸構造を有する凹凸金属基板上に、複数の金属粒子が凹凸金属基板の凹部内に固着して配列した微細構造体を簡易に製造する。【解決手段】金属基板として、表面に凹凸構造を有する凹凸金属基板11を用意する工程(A)と、凹凸金属基板11の表面上に、凹凸金属基板11の構成金属と異なる金属を主成分とする金属膜21を成膜する工程(B)と、アニール処理により、金属膜21の構成金属を凝集させて粒子化させる工程(C)とを順次実施することにより、微細構造体1を製造する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

金属基板上に複数の金属粒子が配列した微細構造体の製造方法において、 前記金属基板として、表面に凹凸構造を有する凹凸金属基板を用意する工程(A)と、 前記凹凸金属基板の前記表面上に、該凹凸金属基板の構成金属と異なる金属を主成分とする金属膜を成膜する工程(B)と、 アニール処理により、該金属膜の構成金属を凝集させて粒子化させる工程(C)とを順次実施することを特徴とする微細構造体の製造方法。

IPC (3件)：

G01N 21/65 ,  B82B 3/00 ,  B82B 1/00

FI (3件)：

G01N21/65 ,  B82B3/00 ,  B82B1/00

Fターム (6件)：

2G043BA14 ,  2G043CA03 ,  2G043EA03 ,  2G043HA15 ,  2G043KA02 ,  2G043KA09

引用特許：

出願人引用 (4件)

• ラマン散乱測定センサ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-338921   出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー
• 特願2005-035564号公報
  
• 金属微粒子の作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-005684   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 微細構造体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-215402   出願人：富士写真フイルム株式会社