特許

J-GLOBAL ID：200903016824521351

静電アクチュエータ、光スイッチ及び光デバイス

発明者： 須永 隆弘 ,  片山 誠 ,  蟹江 智彦
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  塩田 辰也 ,  寺崎 史朗 ,  柴田 昌聰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-387071
公開番号（公開出願番号）：特開2005-148495
出願日： 2003年11月17日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：

【課題】 小型で高集積化可能な静電アクチュエータ、光スイッチ及び光デバイスを提供すること。【解決手段】 静電アクチュエータ18は、梁状部材6と、固定電極8と、梁状部材6と固定電極8との間に電圧を加える電圧源11とを有している。梁状部材6と固定電極8との間には、電圧源11によって電圧が加えられることにより静電気力が発生するようになっている。また、梁状部材6には櫛歯状に配された複数の電極部7が設けられ、固定電極8には櫛歯状に配され各電極部7間に挿入される複数の電極部9が設けられている。そして、これら電極部7,9には膨出部7a,9aが設けられている。この膨出部は、少なくとも梁状部材(可動電極)6の電極部7に設けられていればよい。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

可動電極と、 固定電極と、 前記可動電極と前記固定電極との間に静電気力を発生させる手段とを有し、 前記可動電極には、櫛歯状に配された複数の第1電極部が設けられ、 前記固定電極には、櫛歯状に配され前記各第1電極部間に挿入される複数の第2電極部が設けられており、 前記第1電極部には膨出部が設けられていることを特徴とする静電アクチュエータ。

IPC (1件)：

G02B26/08

FI (1件)：

G02B26/08 E

Fターム (7件)：

2H041AA15 ,  2H041AA16 ,  2H041AB13 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ビームガイドのためのスイッチ装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2001-556371   出願人：セルカロ・マイクロテクノロジー・リミテツド
• 半導体力学量センサおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-262319   出願人：株式会社デンソー