デバイス製造装置および方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-323958
公開番号（公開出願番号）：特開平8-161033
出願日： 1994年12月02日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】ロット処理工程または装置を自己診断しその不具合を早期発見する。【構成】ロット処理の開始前に処理すべき1ロットの被処理物の数量を指定し、ロット処理の各部分的処理に要する処理時間の情報を設定し(S1,S2)、これらの数量および情報に基づいてそのロット処理に要する時間またはその処理の終了時刻を算出して(S3)おき、前記ロット処理の終了後、算出された時間または時刻と実際のロット処理時間または終了時刻との時間差が許容範囲内であるか否かを判定し(S4,S5)、前記時間差が許容範囲以内でなかった場合はそのロット処理に不具合があったものと判定する。

請求項（抜粋）：

ロット処理すべき1ロットの被処理物の数量を指定する数量指定手段と、前記ロット処理の各部分的処理に要する処理時間の情報を設定する設定手段と、前記指定手段により指定された被処理物数量および前記設定手段により設定された処理時間情報に基づいて前記ロット処理に要する時間またはその処理の終了時刻を算出する算出手段と、前記ロット処理の終了後、前記算出手段によって算出された値と実際のロット処理時間または終了時刻との時間差が許容範囲以内であるか否かを判定する手段と、許容範囲を超える場合、それを表示する表示手段とを具備することを特徴とするデバイス製造装置。

IPC (3件)：

G05B 23/02 302 , H01L 21/02 , H01L 21/027

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開平4-346106
特開平2-230711
生産計画立案方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-103360 出願人：松下電工株式会社

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審査官引用 (11件)

特開平4-346106
プラント解析診断システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-106756 出願人：三菱電機株式会社
特開平2-148108

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