特許
J-GLOBAL ID：200903016863382989
レジスト類塗布機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-001049
公開番号（公開出願番号）：特開2001-196285
出願日： 2000年01月06日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：
【要約】【課題】 レジスト類を基板に均一に塗布するためのレジスト類塗布機に関し、リッジ両側でレジスト類を対称に塗布して断線等を防ぐ。【解決手段】 極性切替スイッチ12は電源スイッチSと直流電源Eの直列回路とモータ1の間に接続される。電源スイッチSがオンされているときに極性切替スイッチ12を手動操作することで、直流電源Eからモータ1に印加する電源電圧の極性を反転させて、モータ1を、すなわち基板3を時計回り方向(CW)のみならず反時計回り方向(CCW)に回転駆動することが可能である。
請求項（抜粋）：
基板を固定する基板固定手段と、駆動電源から電力を供給されて前記基板固定手段を回転させる回転手段と、前記回転駆動にしたがって回転する前記基板固定手段に固定された基板にレジスト類を塗布する塗布手段と、前記回転手段に供給する電力の極性を切り替えて、前記回転手段の回転方向を時計回り方向と反時計回り方向に切り替える回転切り替え手段とを備えたことを特徴とするレジスト類塗布機。
Fターム (1件)：
引用特許：
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