特許

J-GLOBAL ID：200903016898352977

シリコン含有材料の回収方法

発明者： 梶本 公彦 ,  北條 義之
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-107832
公開番号（公開出願番号）：特開2006-281413
出願日： 2005年04月04日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：

【課題】有機物が除去されたシリコン含有材料を効率的に回収する方法を提供すること。【解決手段】本発明のシリコン含有材料の回収方法は、砥粒とそれを分散する分散媒とからなるスラリにシリコン粒が混入した使用済みスラリを、1次遠心分離することにより、砥粒が主成分の固形分を回収し、1次遠心分離により得られる液分を2次遠心分離することにより、分散媒が主成分の液分の一部を回収し、2次遠心分離により得られる液分の残りとスラッジの少なくとも一方からなる試料をロータリーキルンを用いて加熱処理することによって、前記試料中に含まれる有機物を除去し、有機物を除去した試料を回収することを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

砥粒とそれを分散する分散媒とからなるスラリにシリコン粒が混入した使用済みスラリを、1次遠心分離することにより、砥粒が主成分の固形分を回収し、 1次遠心分離により得られる液分を2次遠心分離することにより、分散媒が主成分の液分の一部を回収し、 2次遠心分離により得られる液分の残りとスラッジの少なくとも一方からなる試料をロータリーキルンを用いて加熱処理することによって、前記試料中に含まれる有機物を除去し、有機物を除去した試料を回収することを特徴とするシリコン含有材料の回収方法。

IPC (3件)：

B24B 57/02 ,  C02F 11/10 ,  C02F 11/12

FI (4件)：

B24B57/02 ,  C02F11/10 Z ,  C02F11/12 A ,  C02F11/12 C

Fターム (11件)：

3C047FF08 ,  3C047GG17 ,  4D059AA30 ,  4D059BB03 ,  4D059BB14 ,  4D059BD00 ,  4D059BE38 ,  4D059CA21 ,  4D059CC10 ,  4D059DA70 ,  4D059EB06

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 水溶性スラリー廃液の再利用システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-033567   出願人：信越半導体株式会社, 三益半導体工業株式会社, 大智化学産業株式会社, 日立造船メタルワークス株式会社
• 使用済グリコール系スラリーの分離、再生および再使用法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-557946   出願人：エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド
• 廃スラッジの再利用システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-024506   出願人：三益半導体工業株式会社, 大智化学産業株式会社
• シリコンの回収方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-096957   出願人：株式会社日平トヤマ

審査官引用 (3件)

• シリコンの回収方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-096957   出願人：株式会社日平トヤマ
• スラリ再生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-151208   出願人：シャープ株式会社
• 砥粒の回収方法および研削スラリー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-212187   出願人：株式会社新菱