特許

J-GLOBAL ID：200903016901459311

陽極接合用結晶化ガラス

発明者： 宮崎 誠司 ,  森 智隆
出願人/特許権者： 旭テクノグラス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-125148
公開番号（公開出願番号）：特開2002-321940
出願日： 2001年04月24日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：

【要約】【課題】 シリコンとの熱膨張係数差を最小限に抑え、陽極接合温度を250°C以下である陽極接合用結晶化ガラスを提供すること。【解決手段】 β-石英またはβ-石英固溶体を主結晶とする陽極接合用結晶化ガラスにおいて、モル%表示でSiO2:60〜69%、Al2O3:12〜18%、Li2O:3〜6%、Na2O:3〜6%、MgO:1〜6%、ZnO:0〜4%、TiO2:1〜6%、ZrO2:0〜3%を含有し、かつNa2O/Li2Oのモル比を0.8〜1.3とした。

請求項（抜粋）：

β-石英またはβ-石英固溶体を主結晶とする結晶化ガラスにおいて、モル%表示でNa2O:3〜6%およびLi2O:3〜6%を含有し、かつNa2O/Li2Oのモル比が0.8〜1.3であることを特徴とする陽極接合用結晶化ガラス。

IPC (2件)：

C03C 10/14 ,  H01L 29/84

FI (2件)：

C03C 10/14 ,  H01L 29/84 Z

Fターム (83件)：

4G062AA11 ,  4G062BB01 ,  4G062CC09 ,  4G062CC10 ,  4G062DA06 ,  4G062DB04 ,  4G062DC01 ,  4G062DC02 ,  4G062DC03 ,  4G062DD01 ,  4G062DD02 ,  4G062DD03 ,  4G062DE01 ,  4G062DE02 ,  4G062DE03 ,  4G062DF01 ,  4G062EA03 ,  4G062EB03 ,  4G062EC01 ,  4G062EC02 ,  4G062EC03 ,  4G062ED03 ,  4G062EE01 ,  4G062EE02 ,  4G062EE03 ,  4G062EF01 ,  4G062EF02 ,  4G062EF03 ,  4G062EG02 ,  4G062EG03 ,  4G062FA01 ,  4G062FB03 ,  4G062FC01 ,  4G062FC02 ,  4G062FC03 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GB02 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062GE02 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH10 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ04 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ06 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM27 ,  4G062NN29 ,  4G062NN40 ,  4G062QQ02 ,  4M112AA01 ,  4M112CA41 ,  4M112DA18 ,  4M112EA13 ,  4M112FA09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 結晶化ガラス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-158544   出願人：ホーヤ株式会社
• X線マスク又はX線マスク材料の支持体用ガラス、X線マスク材料及びX線マスク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-055742   出願人：ホーヤ株式会社