圧力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：広瀬和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-266124
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091388
出願日： 1999年09月20日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】ダイヤフラム部と撓み検出素子とを高精度に位置合せし、高精度に圧力を検出する。【解決手段】基板1の表面側には薄肉部5によって覆われた受圧穴4を設ける。そして、薄肉部5の表面側にはその一部を取囲む枠状突部6を設け、枠状突部6の内側にダイヤフラム部5Aを形成すると共に、ダイヤフラム部5Aにピエゾ抵抗素子8を形成する。また、枠状突部6の表面側には閉塞板10を陽極接合し、ダイヤフラム部5A上に圧力室Aを画成する。さらに、枠状突部6の外側には4個のスルーホール11を設ける。これにより、スルーホール11を通じて受圧穴4内に圧力を加えることができると共に、圧力センサの製造時にはスルーホール11を通じてエッチング処理を施すことによって、受圧穴4と薄肉部5とを位置合わせした状態で受圧穴4を形成することができる。

請求項（抜粋）：

シリコン材料からなる基板と、該基板の表面側に設けられた受圧穴と、該受圧穴を覆い前記基板の表面側に設けられた薄肉部と、該薄肉部の一部を枠状に取囲んで該薄肉部の表面側に設けられ取囲まれた内側をダイヤフラム部とする枠状突部と、該枠状突部上に接合して設けられ前記ダイヤフラム部を閉塞して基準圧力を与える圧力室を画成する閉塞板と、前記ダイヤフラム部に位置して前記薄肉部に設けられ前記受圧穴と圧力室との間の差圧によって前記ダイヤフラム部が変形するときの撓みを検出する撓み検出素子と、前記枠状突部の外側に位置して前記薄肉部に貫通して設けられ前記受圧穴と外部とを接続するスルーホールとから構成してなる圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/04 101 , H01L 29/84

FI (2件)：

G01L 9/04 101 , H01L 29/84 B

Fターム (22件)：

2F055AA40 , 2F055BB01 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055EE14 , 2F055FF43 , 2F055GG01 , 2F055GG13 , 4M112AA01 , 4M112BA01 , 4M112CA14 , 4M112CA16 , 4M112DA04 , 4M112DA10 , 4M112DA12 , 4M112DA18 , 4M112EA03 , 4M112EA04 , 4M112EA06 , 4M112EA07 , 4M112EA13 , 4M112FA11

引用特許：

出願人引用 (4件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-120131 出願人：株式会社ユニシアジェックス
特開昭62-076784
特開昭64-013773

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