焦点調節方法及び焦点調節装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：梶良之 , 須原誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-052855
公開番号（公開出願番号）：特開2004-264404
出願日： 2003年02月28日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：

【課題】一対の被位置合せ体の合焦点位置を、双方共に明確に検出することができる焦点調節方法及び焦点調節装置を提供する。【解決手段】ガラス基板4に第1位置合せ用マーク6を、かつ、メタルマスク5に第1位置合せ用マーク6と対をなす第2位置合せ用マーク7を設定し、撮像手段1によって撮像された各位置合せ用マーク6,7を含む画像を処理することで、ガラス基板4とメタルマスク5とを精度良く位置合せするに先立って、ガラス基板4とメタルマスク5夫々の焦点を合せる焦点調節方法において、ガラス基板4の位置合せ用マーク6に近接させて補助マーク16を設置し、撮像手段1との距離を遠近調節しながら撮像手段1を作動させて、その映像信号の微分成分が極大値を取るときを焦点位置とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

互いに所定の間隔を隔てて対向配置される一対の被位置合せ体の一方に第1位置合せ用印を設定し、かつ、他方に前記第1位置合せ用印と対をなす第2位置合せ用印を設定し、撮像手段によって撮像された前記両位置合せ用印を含む画像における前記両印の正規の位置からのずれ量が予め設定された範囲内となるように、前記両被位置合せ体の相対位置を調節する位置合せに先立って、前記一対の被位置合せ体夫々の焦点を合せる焦点調節方法であって、前記両被位置合せ体の一方又は双方に、その位置合せ用印に近接させて補助印を設置し、前記撮像手段の前記被位置合せ体との間隔を遠近調節しながら前記撮像手段を作動させて、前記撮像手段による映像信号の微分成分が極大値を取るときを焦点位置とする焦点調節方法。

IPC (3件)：

G02B7/28 , H05B33/10 , H05B33/14

FI (4件)：

G02B7/11 N , H05B33/10 , H05B33/14 A , G02B7/11 H

Fターム (7件)：

2H051AA00 , 2H051CB22 , 2H051CE14 , 2H051DA15 , 3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭60-168112
露光装置及び露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-150734 出願人：株式会社ニコン
特開昭60-168112

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