特許
J-GLOBAL ID:200903017099495370

光スイッチおよびMEMSパッケージ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 酒井 昭徳
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-165528
公開番号(公開出願番号):特開2009-003282
出願日: 2007年06月22日
公開日(公表日): 2009年01月08日
要約:
【課題】λ/4板を用いることなくPDLを低減すること。【解決手段】光スイッチ10は、可動反射体の傾斜角度によってビームを入出力するポートを切り替える光スイッチである。光学系は、複数のポートによって入出力されるビームを通過させる。MEMSミラー13は、光学系を通過したビームを可変の傾斜角度で反射させる。透過窓12は、MEMSミラー13を封止する筐体のビームが透過する位置に設けられ、結晶軸方向および厚みの設定によって、透過した波長λのビームに与える位相差がλ/4の奇数倍となる1軸性結晶である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
可動反射体の傾斜角度によってビームを入出力するポートを切り替える光スイッチにおいて、 前記ビームを入出力させる複数のポートと、 前記複数のポートによって入出力されるビームを通過させる光学系と、 前記光学系を通過したビームを可変の傾斜角度で反射させる可動反射体と、 前記可動反射体を封止する筐体の前記ビームが透過する位置に設けられ、結晶軸方向および厚みの設定によって、透過した波長λのビームに与える位相差がλ/4の奇数倍となる1軸性結晶の透過窓と、 を備えることを特徴とする光スイッチ。
IPC (2件):
G02B 26/08 ,  G02B 5/30
FI (2件):
G02B26/08 E ,  G02B5/30
Fターム (19件):
2H049BA07 ,  2H049BA42 ,  2H049BB61 ,  2H049BC21 ,  2H141MA16 ,  2H141MB24 ,  2H141MD12 ,  2H141MD20 ,  2H141MD23 ,  2H141ME01 ,  2H141ME04 ,  2H141ME06 ,  2H141ME11 ,  2H141ME13 ,  2H141ME23 ,  2H141ME28 ,  2H141MF14 ,  2H141MG01 ,  2H141MZ30
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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