特許
J-GLOBAL ID：200903017143045221

欠陥検査装置及び欠陥検査方法

発明者：
田中 利彦

田中 利彦 について

, 
内木 裕

内木 裕 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (6件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫 ,  増井 裕士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-185636
公開番号（公開出願番号）：特開2008-014768
出願日： 2006年07月05日
公開日（公表日）： 2008年01月24日
要約：
【課題】装置自身の異常を検出することができる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。【解決手段】記憶部207には、予め基準被写体を撮像して得られた基準情報が保存されている。欠陥抽出部205は、基準情報の取得後に基準被写体を撮像して得られた比較対象情報と、記憶部207に保存されている基準情報とを比較し、両者が異なる部分を欠陥として抽出する。欠陥判定部206は、欠陥の抽出結果に基づいて、装置自身の異常の有無を判定する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
検査対象物の欠陥検査を行う欠陥検査装置において、 基準被写体を撮像する撮像手段と、 前記基準被写体を撮像して得られた基準情報を記憶する記憶手段と、 前記基準情報の取得後に前記基準被写体を撮像して得られた比較対象情報と前記基準情報とを比較した結果に基づいて装置自身の異常の有無を判定する判定手段と、 を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/93 ,  H01L 21/66
FI (2件)：
G01N21/93 ,  H01L21/66 J
Fターム (22件)：
2G051AA51 ,  2G051AA90 ,  2G051AC21 ,  2G051BB07 ,  2G051BB17 ,  2G051CA04 ,  2G051DA05 ,  2G051EA08 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EA23 ,  2G051ED11 ,  4M106AA01 ,  4M106AA07 ,  4M106AB20 ,  4M106BA04 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ38
引用特許：
出願人引用 (3件)

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