特許
J-GLOBAL ID:200903017151700700

平面検出器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-015789
公開番号(公開出願番号):特開平11-211837
出願日: 1998年01月28日
公開日(公表日): 1999年08月06日
要約:
【要約】【課題】高電圧を供給するための領域や素子検査のための領域等を画素マトリックスの以外の領域に形成し、これら領域の存在によって画像にアーティファクトが生じることがなく、X線診断システムの検出器として用いる場合の誤診を防止できるような平面検出器を提供すること。【解決手段】画素マトリックス1以外の領域に、Se3の上部電極2に高電圧(バイアス)電圧を供給するための凸部領域Aを有する。この凸部領域Aの実現は、Se3や上部電極2を蒸着するためのマスクを画素マトリックス1よりも拡大して形成すればよい。この凸部領域Aの面積は、高圧供給用ケーブル4の金属部(ワイヤ部)5を接続するための最小のサイズ、あるいは信号読み出しアンプやゲート駆動用ICといった周辺回路8のサイズによって制限する。
請求項(抜粋):
入射した電磁波に応じた電荷を発生する電磁波-電荷変換手段と、前記電磁波-電荷変換手段の一方の側面側に、前記電磁波-電荷変換手段で発生した電荷を収集する複数の画素電極を2次元マトリクス状に配置した画素電極マトリクスと、前記画素電極で収集された電荷を蓄積する蓄積手段と、前記蓄積手段に蓄積された電荷を読み出すための読み出し手段と、前記電磁波-電荷変換手段の前記画素電極マトリクスが設けられた側面に対向する側面に設けられ、かつ、対向側面側に前記画素電極マトリクスが有る領域と対向側面側に前記画素電極マトリクスが無い領域とを含むように設けられたバイアス印加用電極と、前記バイアス印加用電極の内で対向側面側に前記画素電極マトリクスが無い領域に接続され、バイアス電圧を供給するバイアス電圧供給用ケーブルとを備えることを特徴とする平面検出器。
IPC (3件):
G01T 1/24 ,  G01T 1/20 ,  H01L 27/14
FI (3件):
G01T 1/24 ,  G01T 1/20 E ,  H01L 27/14 K
引用特許:
出願人引用 (4件)
  • 放射線検出器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-163394   出願人:株式会社東芝
  • 特開昭60-217671
  • 特開昭62-100679
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審査官引用 (6件)
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