真空成膜装置のプラズマ源

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山内康伸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-071329
公開番号（公開出願番号）：特開平11-256319
出願日： 1998年03月05日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】【課題】組立作業の作業性が良く肉体的疲労も少なくてすむ真空成膜装置のプラズマ源を提供する。【解決手段】第2中間電極12の背面側に重ねられた第1中間電極11と、第1中間電極11の背面側に取付けられた絶縁管15とからなり、第1・第2中間電極11、12のそれぞれの背面側の外周縁部に締結ボルト54、64の頭部が入る深さの段差31、32を形成して、中央部分より厚さの薄い第1・第2フランジ部33、34を形成し、第1・第2フランジ部33、34にボルト孔35、36を貫通させ、短い締結ボルト54、64をボルト孔35、36に挿入して組付ける。締結ボルト54、64は絶縁スリーブ51、61を外挿しており、絶縁スリーブ51、61は、その基端部に締結ボルト54、64の頭部を支える受座52が形成され、その筒部53は取付相手部材の表面に先端が当る長さである。

請求項（抜粋）：

第2中間電極と、第2中間電極の背面側に重ねて取付けられた第1中間電極と、該第1中間電極の背面側に取付けられた絶縁管とからなり、前記第2中間電極の前面と真空容器側の取付部材との間に、表裏両面にOリングをセットした絶縁リングを介在させ、かつ前記第2中間電極の背面と前記第1中間電極の前面との間に、表裏両面にOリングをセットした絶縁リングを介在させて、前記真空容器に取付けられるプラズマ源であって、前記第2中間電極を前記真空容器側の取付部材に取付ける手段と、前記第1中間電極を前記第2中間電極に取付ける手段とを個別に設けたことを特徴とする真空成膜装置のプラズマ源。

IPC (3件)：

C23C 14/32 , C23C 16/50 , H05H 1/24

FI (3件)：

C23C 14/32 Z , C23C 16/50 , H05H 1/24

引用特許：

審査官引用 (3件)

プラズマ銃
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-133135 出願人：スタンレー電気株式会社
金属薄膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-281917 出願人：株式会社ニコン
シートプラズマ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-092386 出願人：住友重機械工業株式会社

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