特許

J-GLOBAL ID：200903017190601442

ヒューズ切断方法および装置、ヒューズ回路装置、回路製造方法

発明者： 廣田 知己
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-082577
公開番号（公開出願番号）：特開2001-274251
出願日： 2000年03月23日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【課題】 X方向に各々連通してY方向に配列されている複数のヒューズ電極が所望によりZ方向から照射されるレーザビームで切断するとき、隣接するヒューズ電極を切断しても飛散した成分による短絡が発生しないようにする。【解決手段】 Y方向で隣接したヒューズ電極130を切断するとき、その切断の位置をX方向で相違させ、隣接したヒューズ電極130を離反した位置で切断して短絡を防止する。

請求項（抜粋）：

ヒューズ回路装置のX方向に各々連通してY方向に配列されている複数のヒューズ電極を所望によりZ方向から照射するレーザビームにより切断するヒューズ切断方法であって、Y方向で隣接する前記ヒューズ電極はX方向で相違する位置で切断するヒューズ切断方法。

IPC (7件)：

H01L 21/82 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/08 ,  H01H 69/02 ,  H01H 85/00 ,  H01L 27/10 431 ,  B23K101:36

FI (7件)：

B23K 26/00 H ,  B23K 26/08 B ,  H01H 69/02 ,  H01H 85/00 T ,  H01L 27/10 431 ,  B23K101:36 ,  H01L 21/82 F

Fターム (22件)：

4E068AE01 ,  4E068CB02 ,  4E068CE02 ,  4E068DA09 ,  5F064BB13 ,  5F064DD19 ,  5F064FF02 ,  5F064FF27 ,  5F064FF42 ,  5F083CR12 ,  5F083GA09 ,  5F083GA27 ,  5F083GA28 ,  5F083JA36 ,  5F083JA56 ,  5F083KA20 ,  5F083LA02 ,  5F083ZA11 ,  5F083ZA24 ,  5G502BB13 ,  5G502EE04 ,  5G502JJ02

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 複数のヒューズを有する半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-059429   出願人：川崎製鉄株式会社
• 特開平2-099285
  
• 半導体記憶装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-110648   出願人：九州日本電気株式会社
• 特開平2-099285
  
• 特開平2-099285