特許

J-GLOBAL ID：200903017259856081

ナノ構造体を用いたセンサ素子、分析チップ、分析装置、センサ素子の製造方法、分析方法

発明者： チョ スンジン ,  赤木 与志郎 ,  金 範ジュン ,  川勝 英樹
出願人/特許権者： シャープ株式会社 ,  国立大学法人 東京大学
代理人 (1件)： 特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-114261
公開番号（公開出願番号）：特開2009-264904
出願日： 2008年04月24日
公開日（公表日）： 2009年11月12日
要約：

【課題】流路において露出したナノ構造体を有するセンサ素子であり、簡易に形成でき、信頼性が高く、検出が高性能で行えるセンサ素子を提供する。【解決手段】センサ素子1は、溝部5が設けられた面を有する基板2と、溝部5内で当該溝部5の両側壁に懸架して設けられ、かつ、基板5と一体に構成されたシリコンナノワイヤ3と、を有し、シリコンナノワイヤ3は、溝部5の底面から離間している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

溝部が設けられた面を有する基板と、 上記溝部内で当該溝部の両側壁に懸架して設けられ、かつ、上記基板と一体に構成されたナノ構造体と、を有し、 上記ナノ構造体は、上記溝部の底部から離間していることを特徴とするセンサ素子。

IPC (4件)：

G01N 27/02 ,  B82B 1/00 ,  G01H 13/00 ,  G01N 29/00

FI (4件)：

G01N27/02 E ,  B82B1/00 ,  G01H13/00 ,  G01N29/00 501

Fターム (43件)：

2G046AA34 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BC03 ,  2G046BC05 ,  2G046BE02 ,  2G046BE07 ,  2G046BE08 ,  2G046BG01 ,  2G046CA06 ,  2G046DB05 ,  2G046DC14 ,  2G046DC16 ,  2G046DC17 ,  2G046DC18 ,  2G046EA04 ,  2G046EA08 ,  2G046EA09 ,  2G046EB09 ,  2G046FB00 ,  2G046FB02 ,  2G046FB06 ,  2G046FE00 ,  2G046FE03 ,  2G046FE11 ,  2G046FE31 ,  2G046FE38 ,  2G046FE48 ,  2G047AA01 ,  2G047BC04 ,  2G047CA04 ,  2G047CA05 ,  2G047CA07 ,  2G047GD01 ,  2G060AA07 ,  2G060AC02 ,  2G060AC10 ,  2G060AG01 ,  2G060DA02 ,  2G064AB01 ,  2G064BC05 ,  2G064BC32

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ナノセンサ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-549958   出願人：プレジデント・アンド・フェローズ・オブ・ハーバード・カレッジ

審査官引用 (3件)

• ナノセンサ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-549958   出願人：プレジデント・アンド・フェローズ・オブ・ハーバード・カレッジ
• カーボンナノチューブデバイス
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2001-545835   出願人：ザボードオブトラスティーズオブザレランドスタンフォードジュニアユニバーシティー
• ナノ構造体を用いたセンサ素子、分析チップ、分析装置、およびセンサ素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-043606   出願人：シャープ株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Molecular detection based on conductance quantization of nanowires