特許
J-GLOBAL ID：200903017269461743

リニアモータを内蔵したステージ装置

発明者：
壺井 孝明

壺井 孝明 について

, 
大野 正毅

大野 正毅 について


出願人/特許権者：
日本トムソン株式会社

日本トムソン株式会社 について


代理人 (1件)： 尾仲 一宗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-135214
公開番号（公開出願番号）：特開2002-328191
出願日： 2001年05月02日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：
【要約】【課題】 このリニアモータを内蔵したステージ装置は,リニアモータを用いて微小の角度位置決めを可能にし,小型で薄型化して応答性を向上させる。【解決手段】 このステージ装置は,基台4,基台4に対してX方向に移動可能な第1ステージ1,第1ステージ1に対してY方向に移動可能な第2ステージ2,第2ステージ2に回転用軸受を介して回転自在に支持された回転ステージ3,及び第2ステージ2に対して回転ステージ3を回転方向に微小量だけ角度位置決め駆動する回転用リニアモータ13を有する。回転用リニアモータ13は,長手方向に沿って第2ステージ2に並設された電機子コイルの一次側34と,長手方向に極性が交互に異なる磁極が回転ステージ3に並設された界磁マグネットの2次側39とで構成されている。
請求項（抜粋）：
回転方向に固定された非回転ステージ,該非回転ステージの上面側に位置して前記非回転ステージに対して回転自在な回転ステージ,前記非回転ステージと前記回転ステージとの間に介在して前記回転ステージを回転支持する回転用軸受,及び前記非回転ステージに対して前記回転ステージを回転方向に微小量だけ角度位置決め駆動する回転用リニアモータを有し,前記回転用リニアモータは,前記回転ステージ及び前記非回転ステージのいずれか一方に設けられた長手方向に沿って並設された電機子コイルを有する一次側と,前記電機子コイルに対向して他方に設けられた長手方向に極性が交互に異なる磁極が並設された界磁マグネットを有する2次側とで構成されていることから成るリニアモータを内蔵したステージ装置。
IPC (5件)：
G12B 5/00 ,  B23Q 1/25 ,  G05D 3/00 ,  H01L 21/027 ,  B23Q 5/28
FI (5件)：
G12B 5/00 T ,  G05D 3/00 A ,  B23Q 5/28 B ,  H01L 21/30 503 A ,  B23Q 1/14 Z
Fターム (21件)：
2F078CA01 ,  2F078CA08 ,  2F078CB13 ,  3C048BC01 ,  3C048DD11 ,  3C048DD26 ,  5F046CC03 ,  5F046CC18 ,  5H303AA01 ,  5H303AA06 ,  5H303AA10 ,  5H303BB02 ,  5H303BB08 ,  5H303BB12 ,  5H303BB14 ,  5H303CC04 ,  5H303DD04 ,  5H303FF05 ,  5H303GG11 ,  5H303HH02 ,  5H303LL03
引用特許：
審査官引用 (4件)
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