電子装置の表面信号操作用融着プローブ及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：三木久巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-116940
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249712
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】走査型プローブ顕微鏡に使用できる高分解能で高剛性・高曲げ弾性のプローブを実現し、高分解能の表面原子像を撮像する。また、高密度の磁気情報処理装置や電子装置に使用できる高精度の処理用プローブを実現する。【解決手段】本発明に係る電子装置の表面信号操作用プローブは、ナノチューブ24を保持させるホルダー2aと、先端部24aを突出させた状態でその基端部24bをホルダー面に融着させたナノチューブ24とから構成され、前記ナノチューブ24の先端部24aを探針として使用する。ナノチューブは融着によりホルダーに強固に固着しているから、外れることが無く長寿命である。しかもナノチューブは先端曲率半径が小さいから、高分解能で信号を操作でき、剛性や曲げ弾性が高いために破損しにくい。

請求項（抜粋）：

ナノチューブ24を保持させるホルダー2aと、先端部24aを突出させた状態でその基端部24bをホルダー面に融着させたナノチューブ24とから構成され、前記ナノチューブの先端部24aを探針として表面信号を操作することを特徴とする電子装置の表面信号操作用融着プローブ。

IPC (3件)：

G01N 37/00 , C01B 31/02 101 , G11B 5/127

FI (6件)：

G01N 37/00 C , G01N 37/00 G , G01N 37/00 Y , C01B 31/02 101 F , G11B 5/127 A , G11B 5/127 F

Fターム (5件)：

4G046CA00 , 4G046CB00 , 4G046CB08 , 5D093AA03 , 5D093AC20

引用特許：

審査官引用 (5件)

カーボンナノチューブを用いた陰極
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-145556 出願人：日本電気株式会社
記録再生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-052363 出願人：キヤノン株式会社
ナノチューブ、ナノチューブプローブ及びそれらの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-173106 出願人：中山喜萬, 大研化学工業株式会社

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