特許
J-GLOBAL ID：200903017362078135
アルカリ現像型光硬化性組成物及びそれを用いて得られる焼成物パターン
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
▲吉▼田 繁喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-080508
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258793
出願日： 1998年03月13日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 保存安定性に優れ、フォトリソグラフィー技術により容易に高精細の導体パターン、誘電体パターン等の焼成物パターンを形成できるアルカリ現像型光硬化性組成物及びそれにより得られる焼成物パターンを提供する。【解決手段】 組成物は、(A)エチレン性不飽和結合を有し、水酸基及び酸性基を持たない化合物(a)とグリシジル(メタ)アクリレート(b)の共重合体のグリシジル基に、1分子中に1つのカルボキシル基を有し、エチレン性不飽和結合を持たない有機酸(c)を反応させ、生成した2級の水酸基に多塩基酸無水物(d)を反応させて得られる重量平均分子量5,000〜100,000、酸価50〜150mg/KOHのアルカリ可溶性高分子バインダー、(B)無機粉体、(C)光重合性モノマー、(D)光重合開始剤、及び(E)有機溶剤を含有する。この組成物を基板上に塗布し、露光、現像、焼成することにより焼成物パターンを形成できる。
請求項（抜粋）：
(A)エチレン性不飽和結合を有し、水酸基及び酸性基を持たない化合物(a)とグリシジル(メタ)アクリレート(b)の共重合体のグリシジル基に、1分子中に1つのカルボキシル基を有し、エチレン性不飽和結合を持たない有機酸(c)を反応させ、生成した2級の水酸基に多塩基酸無水物(d)を反応させて得られる重量平均分子量5,000〜100,000、酸価50〜150mg/KOHのアルカリ可溶性高分子バインダー、(B)無機粉体、(C)光重合性モノマー、(D)光重合開始剤、及び(E)有機溶剤を含有することを特徴とするアルカリ現像型光硬化性組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/033
, C08F 2/44
, C08F 2/48
, C08F 20/10
, G03F 7/004 501
, H01B 1/20
, H01B 3/00
, H01J 9/02
G03F 7/033
, C08F 2/44
, C08F 2/48
, C08F 20/10
, G03F 7/004 501
, H01B 1/20 Z
, H01B 3/00 A
, H01J 9/02 F
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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