特許
J-GLOBAL ID:200903017485511160
感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜およびスペーサー
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大島 正孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-128502
公開番号(公開出願番号):特開2000-319354
出願日: 1999年05月10日
公開日(公表日): 2000年11月21日
要約:
【要約】【課題】 十分なプロセスマージンを有し、かつ、耐熱性、透明性、耐薬品性などの諸性能に優れた層間絶縁膜、スペーサーを容易に形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 [A]不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、エポキシ基を持つ特定の(メタ)クリレート、およびこれらの化合物と異なるオレフィン系不飽和化合物との共重合体、[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、並びに[C]感放射線重合開始剤を含有する感放射線性樹脂組成物、それからなる層間絶縁膜あるいはスペーサー。
請求項(抜粋):
[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)下記式(1)【化1】式中、Rは水素原子またはメチル基であり、R1は炭素数1〜4のアルキル基でありそしてnは1〜6の整数である、で示される単量体および/または下記式(2)【化2】ここで、R2は水素原子またはメチル基であり、pは1〜6の整数でありそしてqは1〜6の整数である、で示される単量体、および(a3)前記単量体(a1)および(a2)以外のオレフィン系不飽和化合物の共重合体、[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、並びに[C]感放射線重合開始剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (7件):
C08G 59/20
, C08F 2/44
, C08F 2/46
, C08G 59/42
, G03F 7/027 515
, G03F 7/028
, G03F 7/033
FI (7件):
C08G 59/20
, C08F 2/44 C
, C08F 2/46
, C08G 59/42
, G03F 7/027 515
, G03F 7/028
, G03F 7/033
Fターム (76件):
2H025AA06
, 2H025AA07
, 2H025AA08
, 2H025AA10
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC31
, 2H025BC51
, 2H025BD23
, 2H025BE07
, 2H025CA00
, 2H025CA39
, 2H025CB10
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB41
, 2H025CB43
, 2H025FA01
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 4J011AA05
, 4J011PA69
, 4J011QA03
, 4J011QA04
, 4J011QA12
, 4J011QA13
, 4J011QA23
, 4J011QA24
, 4J011QB14
, 4J011QB16
, 4J011RA03
, 4J011SA02
, 4J011SA05
, 4J011SA06
, 4J011SA12
, 4J011SA16
, 4J011SA19
, 4J011SA20
, 4J011SA22
, 4J011SA25
, 4J011SA26
, 4J011SA28
, 4J011SA32
, 4J011SA34
, 4J011SA42
, 4J011SA61
, 4J011SA62
, 4J011SA63
, 4J011SA64
, 4J011SA73
, 4J011SA76
, 4J011SA78
, 4J011SA83
, 4J011SA84
, 4J011SA86
, 4J011SA87
, 4J011TA04
, 4J011TA07
, 4J011UA01
, 4J011WA01
, 4J036AK10
, 4J036EA01
, 4J036EA04
, 4J036EA09
, 4J036FA10
, 4J036FA12
, 4J036FA13
, 4J036FA14
, 4J036FB03
, 4J036FB04
, 4J036HA02
, 4J036JA07
, 4J036JA08
引用特許:
審査官引用 (7件)
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硬化性組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-203106
出願人:日本合成ゴム株式会社
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耐熱性感放射線性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-315407
出願人:日本合成ゴム株式会社
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感放射線性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-339138
出願人:日本合成ゴム株式会社
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