特許
J-GLOBAL ID：200903017508009688

基板搬入搬出装置及び搬送システム

発明者：
川松 康夫

川松 康夫 について

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西村 和浩

西村 和浩 について

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佐野 正俊

佐野 正俊 について

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吉田 雅也

吉田 雅也 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について

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川崎重工業株式会社

川崎重工業株式会社 について


代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-343191
公開番号（公開出願番号）：特開2000-174092
出願日： 1998年12月02日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：
【要約】【課題】 短時間で干渉物を回避しつつ基板等の搬送対象物の搬送を行うこと。【解決手段】 搬送ロボットTR4の各自由度のうち、干渉に関係する2つの自由度YZによって可動空間SPを定義する。この可動空間SP内において、予め干渉領域の頂点である領域臨界点H1,H2,H3,H4の座標値を設定しておく。領域臨界点H1〜H4の座標値の設定に伴い、可動空間SP内を複数のゾーンA,B,C,D,Eに分割する。実際に搬送ロボットを移動させる際に、出発位置となる現在位置P1と目標位置P2とを取得する。そして、現在位置P1と目標位置P2とを結ぶ仮想的な直線軌跡L1を求め、各ゾーン境界と直線軌跡L1との交点M1,M2と領域臨界点H1,H2との座標値の大小比較を行うことにより、直線軌跡L1が干渉領域を通過するか否かを判定する。そして、干渉する場合は、領域臨界点H1,H2を経由点とする最短の搬送軌跡SLを設定する。
請求項（抜粋）：
搬送ロボットを使用して基板を搬入搬出する基板搬入搬出装置であって、(a) 前記搬送ロボットの複数の自由度についての可動範囲を座標空間として規定した可動空間において、前記搬送ロボットの出発位置に対応する第1の位置から目標位置に対応する第2の位置までを結ぶ仮想的な直線軌跡を求める直線軌跡導出手段と、(b) 前記直線軌跡が前記可動空間内に予め設定された干渉領域を通過するか否かを判定する判定手段と、(c) 前記判定手段において前記干渉領域を通過すると判定された場合には、前記干渉領域を迂回する搬送軌跡を設定し、前記干渉領域を通過しないと判定された場合には、前記直線軌跡を搬送軌跡として設定する搬送軌跡設定手段と、(d) 前記搬送軌跡に沿って各自由度に対応する各駆動軸を同時駆動制御することにより前記搬送ロボットの動作を制御する制御手段と、を備えることを特徴とする基板搬入搬出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B25J 9/06 ,  B25J 19/06
FI (3件)：
H01L 21/68 A ,  B25J 9/06 D ,  B25J 19/06
Fターム (26件)：
3F059AA01 ,  3F059AA14 ,  3F059AA16 ,  3F059BA01 ,  3F059CA06 ,  3F059FB01 ,  3F060AA01 ,  3F060AA07 ,  3F060AA08 ,  3F060BA00 ,  3F060DA07 ,  3F060DA09 ,  3F060DA10 ,  3F060EB12 ,  3F060EC12 ,  3F060HA35 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA04 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50
引用特許：
審査官引用 (4件)
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