感光性樹脂組成物およびこれを使用したパターン形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-060109
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273936
出願日： 1993年03月19日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：

【要約】【構成】本発明は、シロキサンポリマーと塩基発生剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物に関する。【効果】本発明の感光性樹脂組成物は、パターン精度および加工性に優れている。

請求項（抜粋）：

シロキサンポリマーと塩基発生剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/075 511 , G03F 7/004 503 , G03F 7/028 , G03F 7/038 , G03F 7/38 511 , H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 301 R , H01L 21/30 361 L

引用特許：

審査官引用 (6件)

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