特許

J-GLOBAL ID：200903017602458089

感光性樹脂組成物およびこれを使用したパターン形成方法

発明者： 山舗 有香 ,  吉村 利夫 ,  浅野 昌也
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-060109
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273936
出願日： 1993年03月19日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：

【要約】【構成】本発明は、シロキサンポリマーと塩基発生剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物に関する。【効果】本発明の感光性樹脂組成物は、パターン精度および加工性に優れている。

請求項（抜粋）：

シロキサンポリマーと塩基発生剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/075 511 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/38 511 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 301 R ,  H01L 21/30 361 L

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-008052   出願人：沖電気工業株式会社
• 高解像性レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-282987   出願人：富士通株式会社
• 特開平4-158363
  
• 特開平4-162040