特許
J-GLOBAL ID：200903017637178160

セラミックヒータ

発明者：
森田 直年

森田 直年 について

, 
坂井 茂仁

坂井 茂仁 について


出願人/特許権者：
日本特殊陶業株式会社

日本特殊陶業株式会社 について


代理人 (1件)： 加藤 壯祐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-180963
公開番号（公開出願番号）：特開2002-373862
出願日： 2001年06月15日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：
【要約】【課題】 ウエハを吸着する吸着面の温度分布の小さい安価なセラミックヒータを提供する。【解決手段】 ヒータパターン22,24,26及びグリーンシート21,23,25からなるヒータ層を複数層設けるようにした。
請求項（抜粋）：
アルミナ、ムライト、マグネシア、窒化アルミニウム、窒化珪素等からなるセラミックヒータ体と、前記セラミックヒータ体の内部に埋設された抵抗発熱体とを備え、前記セラミックヒータ体の一方の面に被加工物たるウエハを吸着可能な吸着面が形成されていること、を特徴とするセラミックヒータにおいて、前記セラミックヒータ体が複数層のセラミックスのグリーンシートを積層して構成された部分を有し、前記抵抗発熱体が前記グリーンシート上にスクリーン印刷法により形成されメタライズされたヒータパターンであり、前記ヒータパターン及びグリーンシートからなるヒータ層が複数層あること、を特徴とするセラミックヒータ。
IPC (5件)：
H01L 21/205 ,  H01L 21/68 ,  H05B 3/10 ,  H05B 3/20 393 ,  H05B 3/68
FI (6件)：
H01L 21/205 ,  H01L 21/68 R ,  H05B 3/10 A ,  H05B 3/10 C ,  H05B 3/20 393 ,  H05B 3/68
Fターム (46件)：
3K034AA02 ,  3K034AA07 ,  3K034AA10 ,  3K034AA34 ,  3K034AA37 ,  3K034BB06 ,  3K034BB13 ,  3K034BC04 ,  3K034BC12 ,  3K034BC16 ,  3K034BC23 ,  3K034CA02 ,  3K034CA26 ,  3K034JA10 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB30 ,  3K092QB43 ,  3K092QB49 ,  3K092QB62 ,  3K092QB74 ,  3K092QB76 ,  3K092QC02 ,  3K092QC18 ,  3K092QC31 ,  3K092QC52 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF17 ,  3K092RF22 ,  3K092RF26 ,  3K092VV22 ,  3K092VV40 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16 ,  5F031HA37 ,  5F031PA20 ,  5F045BB02 ,  5F045BB08 ,  5F045EK09 ,  5F045EK22 ,  5F045EM05 ,  5F045EM09
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • ウエハ保持装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-079219   出願人：京セラ株式会社
  • 静電チャック
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-260816   出願人：富士電機株式会社
  • ウェハ保持装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-074081   出願人：京セラ株式会社

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