特許

J-GLOBAL ID：200903034547828604

静電チャック

発明者： 榊原 康史
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-260816
公開番号（公開出願番号）：特開平8-125001
出願日： 1994年10月26日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：

【要約】【目的】ヒータ内蔵の静電チャックを、吸着面に均一な温度分布が得られやすい構造のものとする。【構成】静電チャックの絶縁体中に埋め込む発熱体を、複数の部分発熱体を絶縁体中に分散させて構成したものとする。具体的には、例えば、部分発熱体3a,3bを抵抗加熱材からなる板状あるいは箔状のものとし、給電用電極4も板状あるいは箔状のものとして両者を絶縁体1中に吸着面に平行に2層に埋め込み、すべての部分発熱体3a,3bの並列接続を容易に可能として部分発熱体発熱量相互間差の縮小を容易に可能にする。

請求項（抜粋）：

絶縁体中に電極と発熱体とが埋め込まれ、絶縁体の表面に接触状態にもたらされた被吸着物に前記電極から静電吸引力を作用させて絶縁体表面に吸着,保持するとともに、吸着された被吸着物を前記発熱体で加熱,昇温させる静電チャックにおいて、前記発熱体が、絶縁体中に分散させた複数の部分発熱体からなることを特徴とする静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

引用特許：

審査官引用 (2件)

• スピンチャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-102111   出願人：沖電気工業株式会社
• ウエハチヤツク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-166963   出願人：富士通株式会社