特許
J-GLOBAL ID：200903017649444094

光学部品の製造装置およびその製造方法ならびに光学部品

発明者：
下田 和人

下田 和人 について

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北川 浩司

北川 浩司 について

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大迫 純一

大迫 純一 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-038966
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241647
出願日： 1999年02月17日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：
【要約】【課題】 生産性を向上させた光導波路などの光学部品の製造装置およびその製造方法ならびに光学部品を提供する。【解決手段】 光学部品製造装置1は、感光性を有する高分子フィルムの被処理体2を巻着する送りロール3と、送りロール3に巻着された被処理体2を巻き取る巻き取りロール4と、被処理体2に光を照射する紫外線光源などの光源6と、被処理体2と光源6との間に配設されるマスク7とを有する。また、被処理体2の駆動手段として、送りロール3と巻き取りロール4との間に、一対のガイドロール5a,5bを有する。ガイドロール5a,5bのいずれか一方には、例えば被処理体2の巻き取り長を測定する光センサなどの不図示の回転位置センサが具備されており、巻き取りロール4には、回転位置センサにより測定された巻き取り長を検知して回転駆動する不図示の回転駆動装置が具備されている。
請求項（抜粋）：
感光性を有する被処理体を巻着する送りロールと、前記送りロールに巻着された前記被処理体の、一定長の引き出しと停止とを繰り返し行う間欠駆動手段と、前記被処理体を巻き取る巻き取りロールと、前記被処理体に光を照射する光源と、前記被処理体と前記光源との間に配設されるマスクとを有し、前記被処理体の停止と同期して前記光源から光を照射し、前記被処理体の一定長の範囲に前記マスクのパターン情報を用いてパターンを間欠的に順次形成することを特徴とする光学部品の製造装置。
IPC (3件)：
G02B 6/13 ,  G02B 6/12 ,  G03F 7/20 501
FI (3件)：
G02B 6/12 M ,  G03F 7/20 501 ,  G02B 6/12 N
Fターム (10件)：
2H047PA11 ,  2H047PA21 ,  2H047PA28 ,  2H047QA05 ,  2H047TA43 ,  2H097CA12 ,  2H097CA17 ,  2H097FA09 ,  2H097GA45 ,  2H097LA17
引用特許：
審査官引用 (6件)
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