特許
J-GLOBAL ID:200903017676721377
液体移送装置及び液体移送装置の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
梶 良之
, 須原 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-034874
公開番号(公開出願番号):特開2009-226937
出願日: 2009年02月18日
公開日(公表日): 2009年10月08日
要約:
【課題】共通電極を部分的に切り欠かれた複雑な形状とすることなく、配線部が通過する個別電極の間の領域における圧電層の歪み発生を抑制すること。【解決手段】圧電アクチュエータ5は、振動板と30と、振動板30の複数の圧力室14と対向する領域にそれぞれ配置された複数の個別領域32と、複数の個別電極32からそれぞれ延びるとともに、対応する個別電極32以外の他の個別電極32の間の領域を通過するように配置された複数の配線部35と、複数の個別電極32を覆うように振動板30に配置された圧電層33と、圧電層33の振動板30と反対側の面に、複数の個別電極32と対向するように配置された共通電極34とを有する。そして、複数の配線部35の、少なくとも前記他の個別電極32の間を通過する部分が、第2絶縁層38によって覆われている。【選択図】図5
請求項(抜粋):
液体を移送する液体移送装置であって、
平面に沿って配置された複数の圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、
前記複数の圧力室内の液体にそれぞれ圧力を付与する圧電アクチュエータであって、
前記流路ユニットの表面に前記複数の圧力室を覆うように配置され、且つ、前記圧力室と反対側の面において絶縁性を有する振動板と、
複数の個別電極であって、前記振動板の前記圧力室と反対側の面の、前記複数の圧力室と対向する第1領域にそれぞれ配置され、隣接する2つの個別電極がそれぞれ、電極間領域を画成する複数の個別電極と、
複数の配線であって、それぞれ、前記振動板の前記圧力室と反対側の面において、前記複数の個別電極から延在し、前記電極間領域を通る複数の配線と、
前記振動板の前記圧力室と反対側において、前記複数の個別電極、及び、前記複数の配線の前記電極間領域を通る部分と重なって配置された圧電層と、
前記圧電層の前記振動板と反対側の面に、前記複数の個別電極、及び前記複数の配線の前記電極間領域を通る部分と対向するように配置された共通電極と、
前記配線と前記共通電極との間において、前記複数の配線の前記電極間領域を通る部分と重なるように配置された絶縁層と、
を有する圧電アクチュエータとを備えることを特徴とする液体移送装置。
IPC (3件):
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
FI (2件):
B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
Fターム (14件):
2C057AF93
, 2C057AF99
, 2C057AG15
, 2C057AG29
, 2C057AG42
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AN01
, 2C057AP02
, 2C057AP51
, 2C057AP58
, 2C057AQ06
, 2C057BA03
, 2C057BA14
引用特許:
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