ポリマ導波管に鏡を製造する方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅村皓 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-534903
公開番号（公開出願番号）：特表2002-506227
出願日： 1999年03月08日
公開日（公表日）： 2002年02月26日
要約：

【要約】光学素子に対するポリマ導波管(1)内部の斜め鏡構造の位置が、導波管構造の上面に光リソグラフィーを使用して定めた金属の集積マスクを使用することにより正確に定義される。導波管の表面をレーザー光により照射する時、これは金属が残されていない場所のみを通して進行し、従って形成される窪み(19)は金属層のストリップ(15)の縁により定義される。同じ金属層で電気接触パッド(13)も作成されてレーザーや光ダイオードのような素子の自己整合フリップチップ取付けに使用される。導波管コアの下の適所の導波管構造の内部に他の金属層(21)を印加可能で、これはレーザー光に当りこれを止める。レーザーのエネルギは金属を原子化し、拡散金属は次いで窪み(19)の壁に蒸着される。

請求項（抜粋）：

基板の表面層に形成された光学導波管に光発生又は受信電子光学又は光学電子素子を接続する方法において、表面に金属層を印可する段階と、金属層をパターンして領域の縁を形成する段階であって、縁は形成すべき反射面の位置を定義する前記金属層をパターンする段階と、縁から開始し表面層まで延びる光反射側壁を有する窪みを形成するよう縁の表面を照射して表面層の材料を除去する段階と、を含み、金属層をパターンする際に、縁、従って反射側壁に対して正確に定めた位置に素子を位置決めする金属域を形成するようパターンする、基板の表面層に形成された光学導波管に光発生又は受信電子光学又は光学電子素子を接続する方法。

IPC (2件)：

G02B 6/42 , G02B 6/122

FI (2件)：

G02B 6/42 , G02B 6/12 B

Fターム (13件)：

2H037AA01 , 2H037BA02 , 2H037CA09 , 2H037CA10 , 2H037DA03 , 2H037DA04 , 2H037DA06 , 2H047KA03 , 2H047LA09 , 2H047PA22 , 2H047PA28 , 2H047QA05 , 2H047TA43

引用特許：

審査官引用 (6件)

スリット付き光導波路の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-165918 出願人：日立電線株式会社
特開昭62-248136
光集積回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-095455 出願人：富士通株式会社

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