特許
J-GLOBAL ID:200903017703780810
プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
金山 聡
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-211477
公開番号(公開出願番号):特開2001-035366
出願日: 1999年07月27日
公開日(公表日): 2001年02月09日
要約:
【要約】【課題】隔壁となるリブペーストの頂上角部が欠け落ちて形状不良を生じることがなく、また頂上表面が荒れて平滑性の消失を生じることなく、歩留りが著しく向上するプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法を提供する。【解決手段】基板上に易研削性の組成物からなる隔壁材料を所定の膜厚で層形成する隔壁材料層形成過程と、前記層形成した隔壁材料上にその隔壁材料よりも低軟化点のガラスフリットを成分に含む難研削性の組成物からなる印刷ペーストを印刷することにより所望のパターンのサンドブラスト用マスクを形成するマスク形成過程と、前記サンドブラスト用マスクの形成面側からサンドブラスト処理を行うことにより前記層形成した隔壁材料を研削し所望のパターンの隔壁材料を形成するサンドブラスト過程と、前記ガラスフリットを除くサンドブラスト用マスクの成分を焼失させるとともに前記所望のパターンの隔壁材料を焼成して前記基板上に隔壁を個着形成する焼成過程と、を有する隔壁形成方法。
請求項(抜粋):
基板上に易研削性の組成物からなる隔壁材料を所定の膜厚で層形成する隔壁材料層形成過程と、前記層形成した隔壁材料上にその隔壁材料よりも低軟化点のガラスフリットを成分に含む難研削性の組成物からなる印刷ペーストを印刷することにより所望のパターンのサンドブラスト用マスクを形成するマスク形成過程と、前記サンドブラスト用マスクの形成面側からサンドブラスト処理を行うことにより前記層形成した隔壁材料を研削し所望のパターンの隔壁材料を形成するサンドブラスト過程と、前記ガラスフリットを除くサンドブラスト用マスクの成分を焼失させるとともに前記所望のパターンの隔壁材料を焼成して前記基板上に隔壁を固着形成する焼成過程と、を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
IPC (3件):
H01J 9/02
, G03F 7/40 521
, H01J 11/02
FI (3件):
H01J 9/02 F
, G03F 7/40 521
, H01J 11/02 B
Fターム (17件):
2H096AA28
, 2H096AA30
, 2H096BA05
, 2H096CA16
, 2H096HA23
, 2H096HA30
, 5C027AA09
, 5C040GF18
, 5C040GF19
, 5C040JA12
, 5C040JA17
, 5C040KA07
, 5C040KB06
, 5C040KB11
, 5C040KB19
, 5C040MA24
, 5C040MA26
引用特許: