特許
J-GLOBAL ID：200903017704227650

(メタ)アクリル系重合体および感放射線性樹脂組成物

発明者：
西村 功

西村 功 について

, 
下川 努

下川 努 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-380902
公開番号（公開出願番号）：特開2004-210917
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：
【課題】放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れ、特に、レジスト溶剤への溶解性に優れ、現像後のパターン側壁のラフネスを低減する感放射線性樹脂組成物に適した(メタ)アクリル系重合体を提供する。【解決手段】下記式(1)で表される繰り返し単位を含む(メタ)アクリル系重合体。【化1】式(1)において、Rは水素あるいはメチル基を表し、Aは-(-(炭素数1〜12を有するアルキレン基)-O-)m-で表され、mは1〜3の整数を表し、アルキレン基に結合する酸素原子はノルボルナン環誘導体に結合する。【選択図】 無
請求項（抜粋）：
下記式(1)で表される繰り返し単位を含むことを特徴とする(メタ)アクリル系重合体。
IPC (3件)：
C08F20/28 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027
FI (3件)：
C08F20/28 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R
Fターム (31件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BA02 ,  4J100BA03 ,  4J100BA16 ,  4J100BA20 ,  4J100BA40 ,  4J100BC03 ,  4J100BC04 ,  4J100BC09 ,  4J100BC53 ,  4J100BD12 ,  4J100CA01 ,  4J100CA05 ,  4J100DA39 ,  4J100JA37
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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