特許
J-GLOBAL ID：200903017757599428

光学素子の膜厚測定方法及び光学素子の製造方法

発明者：
岡本 幹夫

岡本 幹夫 について

, 
秋山 貴之

秋山 貴之 について

, 
萩原 まゆみ

萩原 まゆみ について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-360788
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174226
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】【課題】 測定器の分解能によって測定値がなまり、正確な測定ができないような場合においても、その測定器を使用して正確な膜厚測定を行なう方法を提供する。【解決手段】 膜厚を仮定して計算によって求められた分光透過率と実測された分光透過率のフィッティングにより、膜厚を求める。この際、計算によって求められた分光透過率を、分光透過率測定器の分解能を示す感度特性で補正することにより、実際に観測されるはずの補正分光透過率を求め、この補正分光透過率と実測された分光透過率のフィッティングにより膜厚を求める。このようにすれば、測定器の分解能に関係なく、正確に膜厚を求めることができる。
請求項（抜粋）：
表面に多層膜を有する光学素子における、多層膜を構成する各々の膜の厚さを測定する方法であって、種々の膜厚のときに観測される分光特性を計算によって求め、求められた分光特性を測定器の感度特性又はその近似値によって補正した補正分光特性を求め、実際に測定された分光特性と前記補正分光特性とのフィッティング計算を行なうことにより膜厚を求めることを特徴とする光学素子の膜厚測定方法。
IPC (3件)：
G01B 11/06 ,  B05D 3/00 ,  G02B 1/11
FI (3件)：
G01B 11/06 G ,  B05D 3/00 D ,  G02B 1/10 A
Fターム (19件)：
2F065AA30 ,  2F065BB17 ,  2F065CC31 ,  2F065DD03 ,  2F065FF51 ,  2F065GG02 ,  2F065JJ01 ,  2F065LL67 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ41 ,  2K009AA09 ,  2K009DD04 ,  2K009EE00 ,  4D075AC92 ,  4D075BB85Z ,  4D075CB02 ,  4D075DC24
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 分光計の標準化方法
    公報種別：公表公報   出願番号：特願平8-523915   出願人：フォスエレクトリックアクティーゼルスカブ
  • 多層膜試料の膜厚測定方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-227962   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
審査官引用 (2件)
  • 分光計の標準化方法
    公報種別：公表公報   出願番号：特願平8-523915   出願人：フォスエレクトリックアクティーゼルスカブ
  • 多層膜試料の膜厚測定方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-227962   出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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